[发明专利]一种等压式分区吸附工作台

说明书

本发明公开了一种等压式分区吸附工作台，属于曝光设备技术领域。通过设置独立的抽真空共压腔，并通过抽真空管路连通每个工作区域对应的抽真空共压腔，使每个独立的工作区域在抽真空状态下，都处于同一腔体内，形成共压腔，从而保证每个独立工作区域在负压状态下的共压，解决现有技术每个独立工作区域在负压状态下压力不一的问题；通过设置抽真空控制气缸控制抽真空覆盖控制组件通断，实现最佳吸盘分区效果。

技术领域

本发明涉及一种等压式分区吸附工作台，属于曝光设备技术领域。

背景技术

在PCB板光刻过程中，光刻机工作台面通过负压吸附的方式来固定PCB板件。但每个批次的PCB板件之间存在尺寸差别，光刻机工作台面为适应较大尺寸的PCB板件，需要具有较大的尺寸。

当放置在光刻机工作台的PCB板件尺寸规格较小时，光刻机工作台面被PCB板件覆盖后漏空区域较大，会存在漏气的现象，使光刻机工作台的整体吸附负压值减少，进而使吸附的PCB板件不能够被牢固且平整的吸附在光刻机工作台，会使被光刻的PCB板件平面度无法达到光刻需求的平面度要求，最终导致该PCB板件在光刻过程中报废。特别是板件厚度在0.03mm-0.3mm之间的板件，由于板件较薄，在曝光过程中若出现吸附压力不够，或局部压力有差异时，在光刻过程中，更容易造成局部平面度的异常情况，从而造成光刻过程中的PCB板件的报废。

在实际生产中，大都是采用人工方式在光刻机工作台面未被PCB板件覆盖的区域贴附粘尘纸、塑料片等来覆盖，以保证光刻机工作台的真空吸附效果。该方法不仅效率低下，若贴附粘尘纸、塑料片等被PCB板件二次覆盖，也会带来PCB板件在光刻过程中报废。特别是在全自动化的光刻过程中，增加人工贴覆的步骤，不仅影响生产效率，还存在安全隐患。

基于提高生产效率和避免安全隐患的要求，“CN110456613A”专利申请公开了一种应用于直写式曝光机的吸盘，通过在吸盘真空区域内设置隔断筋将真空区域划分为多个独立区域，并每个独立真空区域设置通孔，通过设定所述通孔的直径或者面积，减少漏气的流量和速度，达到控制漏气的影响。但是，该方法每个工作区域通过单个小管径管路与总抽真空处连通，在实际生产中会造成靠近抽真空口的工作区域负压吸附力很大，但远离抽真空口的工作区域负压吸附力很小，以及隔条缺口更是难以保证每个区域的负压吸附压力保持一致。各个工作区域的工作压力不一致，会造成PCB板件在工作平台被吸附时，PCB板件的平面度异常，进而造成板件被曝光时局部线路异常，带来PCB板件的报废。

发明内容

为了解决上述现有光刻过程中PCB板件不能够被牢固且平整的吸附在光刻机工作台上的问题，本发明提供了一种等压式分区吸附工作台，所述等压式分区吸附工作台从上到下依次包括：工作台面、工作平台主体和抽真空组件；其中，所述工作平台主体分为多个凹下区域，凹下区域之间通过凸出的台阶分割形成多个工作区域；工作台面位于工作平台主体的上面，二者紧密接触；各个凹下区域底面均设有抽真空贯穿孔；

所述工作台面上设置有若干贯穿小孔；

所述抽真空组件包括抽真空管路和抽真空覆盖控制组件，抽真空覆盖控制组件用于控制各工作区域抽真空通断；

所述抽真空覆盖控制组件位于所述工作平台主体的下方；二者密切接触形成与多个工作区域分别对应的多个独立的抽真空共压腔；各个独立的抽真空共压腔之间通过抽真空管路相连通。

可选的，所述每个抽真空覆盖控制组件包括一个封板，所述封板与工作平台主体密切接触形成与工作区域对应的独立的抽真空共压腔；封板上设有一个开口，封板上的开口处与抽真空管路相通；所述抽真空覆盖控制组件还包括用于控制抽真空管路与抽真空共压腔之间的通断的抽真空控制气缸。

可选的，每个工作区域中，工作平台主体底面上的抽真空贯穿孔的总截面积大于等于工作台面上贯穿小孔的总截面积。

可选的，所述抽真空贯穿孔为圆孔，孔径范围为8-20mm；所述贯穿小孔也为圆孔，孔径范围为1-2mm。