[发明专利]一种多热源散热冷却装置及冷却方法有效

专利信息
申请号: 202110218038.6 申请日: 2021-02-26
公开(公告)号: CN112969349B 公开(公告)日: 2023-02-21
发明(设计)人: 孔延梅;张楠;焦斌斌;刘瑞文;叶雨欣;刘文宝 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H05K7/20 分类号: H05K7/20
代理公司: 北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386 代理人: 马东伟
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 热源 散热 冷却 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种多热源散热冷却装置,其特征在于,包括散热板(4),多个散热板(4)纵向拼接或横向拼接并对热源(6)散热,热源(6)位置的垂直方向对应设置散热板(4);

所述散热板(4)纵向拼接时,多热源散热冷却装置还包括工质供应板(1),工质供应板(1)上设有多个散热板槽(2);

所述散热板(4)设于散热板槽(2)中,散热板(4)的流体管道与工质供应板(1)的流体管道连通,且每个散热板(4)的流体管道相互独立;

所述散热板(4)横向拼接时,散热板(4)上设有双进出液互连通道(12)和位于双进出液互连通道(12)两端的散热板连接口(13),相邻散热板(4)之间通过快接头(14)与散热板连接口(13)连接实现横向拼接,使得冷却工质能够绕过堵塞的散热板(4)传输至下一个散热板(4)。

2.根据权利要求1所述的多热源散热冷却装置,其特征在于,所述散热板槽(2)内设有连接口(3),所述散热板(4)上设有进出液口(9),连接口(3)和进出液口(9)连通。

3.根据权利要求2所述的多热源散热冷却装置,其特征在于,所述工质供应板(1)内设有进液分液流道(7)和出液汇液流道(8)。

4.根据权利要求3所述的多热源散热冷却装置,其特征在于,所述连接口(3)与进液分液流道(7)和出液汇液流道(8)连通。

5.根据权利要求1所述的多热源散热冷却装置,其特征在于,所述散热板(4)内设有微流道(11),微流道(11)的宽度和间距根据热源(6)的热流密度设置。

6.根据权利要求1所述的多热源散热冷却装置,其特征在于,所述散热板(4)与工质供应板(1)之间设有用于密封的硅胶垫。

7.一种多热源散热冷却方法,其特征在于,采用权利要求1-6任一项所述的多热源散热冷却装置,步骤包括:

步骤1:确定热源位置分布;

步骤2:根据热源位置分布拼接散热板;

步骤3:向散热板供应工质,对热源散热。

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