[发明专利]适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置

说明书

本发明公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括龙门基座、传动装置和升降结构，传动装置安装在龙门基座上，包括带传动结构、滑动结构、驱动结构，带传动结构安装在龙门基座一侧；滑动结构与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；驱动结构安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；升降结构包括运动基座和滑动连接块，运动基座位于龙门基座正面；滑动连接块一端与运动基座固结，另一端与滑动结构和/或带传动结构连接。通过本发明，提高了升降结构在大负载情况下的运动稳定性和位置控制精度。密封保护结构安装在龙门基座两侧，将升降装置正面的面板轨道槽遮蔽起来，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流。

技术领域

本发明涉及机器人技术领域,具体涉及一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置。

背景技术

在现代芯片加工行业，随着大尺寸晶圆片的普遍应用以及多功能夹爪的实际需求，使得晶圆片搬运机器人的整体结构更加复杂，从而对升降结构的负载能力、控制精度以及运动稳定性提出了更高的设计要求，同时升降结构还应满足在高等级超净环境中安装使用的要求。目前，国内在该方面的产品和技术研究起步较晚，还没有较为成熟的设计方法，这也是制约国内晶圆搬运机器人发展水平的主要原因之一。

因此,本行业急需一种可在高等级超净间环境使用的大负载，高精度升降结构设计方案。

发明内容

本发明的目的是本专利提出了一种可以应用在高等级超净环境使用的龙门型大负载，高精度升降装置。本发明采用龙门型的设计结构，龙门基座两侧各设置一套导轨结构分别与运动基座两侧固定连接，龙门基座在运动基座的升降过程中提供更加稳定的支撑和辅助引导作用，龙门基座的使用能够提高运动基座部分的负载能力，并提高运动的稳定性和位置控制精度；带传动结构安装在龙门基座的一侧，采用同步带和步带轮作为带传动机构提高整套设计的运动性能和位置控制精度；龙门基座两侧采用了密封带设计，将运动基座移动路径上的空隙遮蔽起来，减少结构内部与外部环境的空气对流，同时龙门架和运动基座内使用了对流风扇的设计，控制内部气流沿着内部槽路向整体结构底层流动，使整体结构可以满足高等级超净间产品集成设计和使用的要求。

为了解决上述技术问题，本发明公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括：

龙门基座；

传动装置，安装在龙门基座上，包括：

带传动结构，安装在龙门基座一侧；

滑动结构，与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；

驱动结构，安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；

升降结构，所述升降结构包括：

运动基座，位于龙门基座正面；

滑动连接块，固接在运动基座两端，并与滑动结构和/或带传动结构连接。

进一步的，还包括密封保护结构，所述密封保护结构与滑动结构并排设置，并安装在龙门基座两侧。

进一步的，所述密封保护结构包括：

辅助轮安装支架组件，包括：

第一辅助轮安装支架，数量为4，对称安装在龙门基座一侧的两端；

第二辅助轮安装支架，与第一辅助轮安装支架相对设置，并对称安装在龙门基座另一侧的两端；

辅助轮组件，包括：第一辅助轮和第二辅助轮，数量与第一辅助轮安装支架和第二辅助轮安装支架一一对应，分别转动连接在第一辅助轮安装支架和第二辅助轮安装支架上；

密封带，密封带的一边固定在运动基座和滑动连接块之间，密封带分别与龙门基座两侧的辅助轮组件滑动连接。