[发明专利]用于装、卸装置的基板库

权利要求书

1.一种用于生产线的装、卸装置的基板库系统(1)，其具有至少一个基板库(2)，基板库(2)具有两个彼此间隔开且彼此平行的侧壁(13,14)，在两个侧壁(13,14)之间设有多个上下叠置的抽屉(15)，其中，所述抽屉(15)设置用于分别存储一个或多个平坦的基板(18)，以及其中，每个抽屉(15)分别通过两个导轨(16,17)形成，该两个导轨(16,17)彼此间隔开且相对地设置在所述侧壁(13,14)上，其中，至少一个侧壁(14)能够移动地安装以使两个侧壁(13,14)之间的净宽能够改变，以及具有至少一个基板处理装置(3)，所述至少一个基板库(2)为处理基板(18)而设置在该基板处理装置(3)上或其上方，其特征在于，所述基板处理装置(3)具有第一致动器(28)，该第一致动器(28)通过能操作的联接件(34)与能够移动的侧壁(14)联接并使可移动的侧壁(14)在联接的状态下移动。

2.根据权利要求1所述的基板库系统，其特征在于，所述基板库(2)具有配属于所述可移动的侧壁(14)的主轴驱动器(22)，该主轴驱动器(22)通过所述联接件(34)能够与所述第一致动器(28)联接。

3.根据权利要求1或2所述的基板库系统，其特征在于，所述主轴驱动器(22)具有驱动主轴(23)，驱动主轴(23)在自由端上具有第一联接元件(33)，以及所述第一致动器(28)具有驱动轴(29)，驱动轴(29)在自由端上具有第二联接元件(30)，其中，所述第一联接元件(33)和所述第二联接元件(30)共同形成所述能操作的联接件(34)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述联接元件(30)中的至少一个联接元件为建立或解除联接而被设计为可移动的。

5.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述可移动的联接元件(30)配有用于使其移动的第二致动器(32)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述基板处理单元(3)具有所述第一致动器和/或所述第二致动器(32)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述第一联接元件(33)和第二联接元件(30)形成摩擦联接件。

8.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述第一联接元件(33)和第二联接元件(30)形成爪形联接件。

9.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述第二联接元件(30)在所述驱动轴(29)上不可转动地且能轴向移动地设置。

10.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述第一致动器(28)构成为电机。

11.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述基板处理单元(3)具有存放台(6)，在该存放台(6)上能设置至少一个基板库(2)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述存放台(6)具有引导装置(7)，通过该引导装置(7)能够将所述至少一个基板库(2)在所述存放台(6)上引导到最终位置，在该最终位置中所述基板库(2)的第一联接元件(33)和第二联接元件(30)彼此相对置。

13.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述基板处理单元(3)构成为用于生产线的装载和/或卸载装置。

14.根据前述权利要求中任一项所述的基板库系统，其特征在于，所述基板处理单元(3)构成为运输车辆。