[发明专利]气相沉积炉及填料密封结构的安装方法

说明书

本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。

技术领域

本申请涉及气相沉积炉，尤其涉及一种具有填料密封结构的气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。

背景技术

气相沉积炉作为绿色高效制备催化剂的成套工艺技术装置，气相沉积炉中发生的沉积过程要求每根炉管进料的均一性，以及炉管内温度分布均匀。同时，沉积过程中反应产生的氯化氢离开高温区时，有一定可能会和空气中的水蒸汽冷凝为盐酸造成腐蚀。因此，要求炉管与管板之间的密封可靠，防止氯化氢外泄。

一个现有技术中，气相沉积炉包括加热仓、加热仓上部的上管板、加热仓下部的下管板，以及穿过下管板、加热仓、上管板的90根直径为159mm的炉管。如图1所示，炉管1与上管板(未示出)焊接连接，炉管1与下管板2通过填料密封结构形成密封。具体地，现有技术中的填料密封结构包括管座51、压盖61、填料4(例如石墨)以及垫片3。管座51具有M200的细牙内螺纹，焊接于下管板2。压盖61具有M200的细牙外螺纹，压盖61通过螺纹啮合旋进管座51，压紧填料4。填料4受到压盖61的轴向力的作用而发生径向涨紧，进而起到密封作用。

现有技术存在以下问题：

1.螺纹啮合的组装要求比较高，并且装配时操作姿势为上仰(从下往上装)，不利于装配，存在安全隐患。另外该方案需要专用工装和多个操作人员，例如一人夹持工装、两人旋进。占用操作空间大，费时费力。

2.管座51与下管板2焊接时会存在焊接应力，可能会导致螺纹尺寸、圆度等变化，导致压盖61旋进受阻，不能均匀挤压填料4，影响密封状态。

3.炉管1温度较高(例如达到700℃)，在持续高温下，管座51的螺纹会发生变形，导致压盖61旋进受阻，不能均匀挤压压紧填料4，影响密封状态。

4.下管板2和炉管1可能不完全垂直，导致管座51焊接于下管板2之后，炉管1与管座51可能不同心，炉管1与管座51之间的间隙不均匀，进而导致压盖61旋进受阻，难以均匀挤压压紧填料4，影响密封状态。并且加热仓在工作过程中进行温度升降循环，会造成炉管1的伸缩变形及位移。炉管1与管座51不同心，炉管1与管座51之间的间隙不均匀现象会在炉管1的移动、膨胀过程中造成炉管1的轻微弯曲，进一步地影响炉管1与管座51的密封。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。

本申请提出的气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构，所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封，

所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构，所述管座固定连接于所述下管板，

所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。

在至少一个实施方式中，所述螺杆焊接于所述下管板。

在至少一个实施方式中，所述连接板焊接于所述压盖。

在至少一个实施方式中，所述压盖至少部分地插入所述管座，所述压盖与所述管座间隙配合。