[发明专利]气相沉积炉及填料密封结构的安装方法

权利要求书

1.一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉包括炉管(1)、下管板(2)和填料密封结构，所述炉管(1)穿过所述下管板(2)，所述炉管(1)和所述下管板(2)通过所述填料密封结构形成密封，

所述填料密封结构包括填料(4)、管座(52)、压盖(62)和支耳结构(7)，所述管座(52)固定连接于所述下管板(2)，

所述支耳结构(7)包括螺母(71)、连接板(72)和螺杆(73)，所述连接板(72)固定连接于所述压盖(62)，所述螺杆(73)能够穿过所述连接板(72)，所述螺杆(73)的一端固定连接于所述下管板(2)，所述螺杆(73)和所述螺母(71)通过螺纹配合连接，通过所述螺母(71)能够限制所述连接板(72)在所述螺杆(73)的轴向(A)上的位置。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述螺杆(73)焊接于所述下管板(2)。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述连接板(72)焊接于所述压盖(62)。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖(62)至少部分地插入所述管座(52)，所述压盖(62)与所述管座(52)间隙配合。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，

所述填料密封结构包括多组所述支耳结构(7)，通过调节多个所述螺母(71)在其对应螺杆(73)上的位置而调节所述压盖(62)在所述轴向(A)上的位置。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖(62)和所述管座(52)同轴设置。

7.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，

所述连接板(72)具有孔，所述孔的直径大于所述螺杆(73)的直径，使得所述螺杆(73)能够相对于所述连接板(72)位移和倾斜。

8.一种填料密封结构的安装方法，其特征在于，所述填料密封结构为权利要求1至7中任一项所述的气相沉积炉的填料密封结构，气相沉积炉的炉管(1)和下管板(2)通过所述填料密封结构形成密封，

所述填料密封结构的安装方法包括：

所述压盖(62)预装入所述管座(52)，所述螺杆(73)穿过所述连接板(72)并放置于所述压盖(62)旁边，以确定所述螺杆(73)的固定位置；

所述螺杆(73)固定连接于所述气相沉积炉的下管板(2)；

所述连接板(72)固定连接于所述压盖(62)；以及

所述螺母(71)和所述螺杆(73)旋合，通过改变所述螺母(71)的位置调整所述压盖(62)在所述轴向(A)上的位置。

9.根据权利要求8所述的填料密封结构的安装方法，其特征在于，

所述填料密封结构包括多组所述支耳结构(7)，通过调整多组所述支耳结构(7)中的部分所述支耳结构(7)的所述螺母(71)在所述螺杆(73)上的位置，从而调整所述压盖(62)的位置及姿势。