[发明专利]工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备

说明书

本发明公开了一种工艺建模整合系统，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，更具体地，涉及一种工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备

背景技术

在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型。

工艺流程建模是半导体制造工厂的最基本需求，建模的准确性对产品品质、生产设备乃至工厂环境起到至关重要的影响，建立过程不允许任何数据错误或失配问题。但各工厂生产系统及建模架构差异，目前市场上并没有专门用于建模数据整合的系统用于生产制造。

目前建模流程主要通过各类表单进行数据定义，通过人工的方式进行数据收集和整合，完成相关表单定义后再导入生产系统进行建模。这种建模流程存在人工干预环节较多，失误风险高、时效性不佳、数据版本缺乏管控等风险。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种工艺建模整合系统，通过人机交互和系统验证实现工艺建模过程中的数据收集和自动整合。

本发明提供的一种工艺建模整合系统，包括：

工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

进一步，所述数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。

进一步，所述数据整合模块可将数据整合结果反馈至关联人定义模块。

进一步，所述技术参数验证模块包括：技术参数导入模块，用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数；系统验证模块，用于验证所述技术参数是否完整和正确，并输出验证结果；技术参数确认模块，用于确认所述技术参数是否符合产品技术要求，并输出确认结果。

进一步，所述技术参数未通过所述系统验证模块的验证，将所述验证结果反馈至所述技术参数导入模块。

进一步，所述技术参数未通过所述技术参数确认模块的确认，将所述确认结果反馈至所述技术参数导入模块。

基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令，当所述计算机可执行的指令被执行时实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机设备，包括处理器以及存储设备，所述处理器适于实现各指令，所述存储设备适于存储多条指令，所述指令适于由处理器加载并实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

本发明的工艺建模整合系统，使用人机交互替代现有技术建模过程中数据收集整合过程中的人人交互，减少数据处理批次，同时与生产系统对接，在数据提交过程中完成数据验证，确保数据有效性。数据收集验证完成后即可直接进入正式建模业务流程，且有效避免因无效数据导致的流程退回，提升建模效率，缩短建模周期。