[发明专利]工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备在审
| 申请号: | 202110205031.0 | 申请日: | 2021-02-24 |
| 公开(公告)号: | CN112926204A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
| 发明(设计)人: | 徐莹;周维 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06Q10/06 |
| 代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 郭立 |
| 地址: | 201315 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 工艺 建模 整合 系统 储存 介质 计算机 设备 | ||
1.一种工艺建模整合系统,其特征在于,包括:
工艺流程导入模块,用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构;
系统逻辑验证模块,用于验证所述各步骤的完整性和正确性;
关联人定义模块,用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人;
技术参数导入和验证模块,用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确;
数据整合模块,用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合;
输出模块,用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。
2.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。
3.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述数据整合模块可将数据整合结果反馈至关联人定义模块。
4.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数验证模块包括:
技术参数导入模块,用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数;
系统验证模块,用于验证所述技术参数是否完整和正确,并输出验证结果;
技术参数确认模块,用于确认所述技术参数是否符合产品技术要求,并输出确认结果。
5.如权利要求4所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数未通过所述系统验证模块的验证,将所述验证结果反馈至所述技术参数导入模块。
6.如权利要求4所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数未通过所述技术参数确认模块的确认,将所述确认结果反馈至所述技术参数导入模块。
7.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令,其特征在于:当所述计算机可执行的指令被执行时实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。
8.一种计算机设备,其特征在于,包括处理器以及存储设备,所述处理器适于实现各指令,所述存储设备适于存储多条指令,所述指令适于由处理器加载并实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。
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