[发明专利]工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备在审

专利信息
申请号: 202110205031.0 申请日: 2021-02-24
公开(公告)号: CN112926204A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 徐莹;周维 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06Q10/06
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 郭立
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 工艺 建模 整合 系统 储存 介质 计算机 设备
【权利要求书】:

1.一种工艺建模整合系统,其特征在于,包括:

工艺流程导入模块,用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构;

系统逻辑验证模块,用于验证所述各步骤的完整性和正确性;

关联人定义模块,用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人;

技术参数导入和验证模块,用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确;

数据整合模块,用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合;

输出模块,用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。

2.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。

3.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述数据整合模块可将数据整合结果反馈至关联人定义模块。

4.如权利要求1所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数验证模块包括:

技术参数导入模块,用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数;

系统验证模块,用于验证所述技术参数是否完整和正确,并输出验证结果;

技术参数确认模块,用于确认所述技术参数是否符合产品技术要求,并输出确认结果。

5.如权利要求4所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数未通过所述系统验证模块的验证,将所述验证结果反馈至所述技术参数导入模块。

6.如权利要求4所述的工艺建模整合系统,其特征在于,所述技术参数未通过所述技术参数确认模块的确认,将所述确认结果反馈至所述技术参数导入模块。

7.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有计算机可执行的指令,其特征在于:当所述计算机可执行的指令被执行时实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

8.一种计算机设备,其特征在于,包括处理器以及存储设备,所述处理器适于实现各指令,所述存储设备适于存储多条指令,所述指令适于由处理器加载并实现权利要求1至6中任意一项所述的工艺建模整合系统。

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