[发明专利]MEMS麦克风及电子装置

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：

PCB板，所述PCB板具有底面、顶面及沿其环周设置的侧面；所述PCB板设有进声声道，所述进声声道具有声道入口和声道出口，所述声道入口形成在所述侧面，所述声道出口形成在所述顶面；

壳体，所述壳体罩盖在所述PCB板的顶面，以与所述PCB板围合形成封装腔；以及

MEMS芯片，所述MEMS芯片设置在所述封装腔内并与所述PCB板连接，所述MEMS芯片罩盖于所述声道出口的上方，以使所述MEMS芯片的背腔与所述声道出口连通。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片包括衬底及设置在所述衬底顶部的振膜层，所述衬底和所述振膜层之间围合形成所述背腔；其中，所述衬底的周缘与所述声道出口的环周连接。

3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体还开设有进声孔，所述进声孔与所述封装腔连通。

4.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体包括顶壁板及沿所述顶壁板的环周设置的侧壁板；所述进声孔设置在所述顶壁板。

5.如权利要求1至4任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括除尘结构，所述除尘结构设置在所述进声声道内，所述除尘结构覆盖所述进声声道的横截面。

6.如权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述除尘结构为发泡材料，所述发泡材料自所述进声声道的声道入口填充至其声道出口。

7.如权利要求1至4任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述进声声道包括：

横向通道，所述横向通道自其侧面向内延伸，所述横向通道的外端形成所述声道入口；以及

纵向通道，所述纵向通道自所述横向通道的内端向上贯穿所述顶面，所述纵向通道的上端形成所述声道出口。

8.如权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述横向通道的顶壁到其底壁之间的距离定义为D₁；所述PCB板的厚度定义为H；其中，H/3≤D₁≤H/2。

9.如权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述横向通道的顶壁到所述PCB板的顶面之间的距离定义为D₂，所述横向通道的底壁到所述PCB板的底面之间的距离定义为D₃；其中，D₂＝D₃。

10.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括：

电子装置本体；以及

如权利要求1至9任意一项所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风安装于所述电子装置本体内。