[发明专利]绘制装置和绘制方法在审

专利信息
申请号: 202110200405.X 申请日: 2021-02-23
公开(公告)号: CN113363179A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 三根阳介 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;徐飞跃
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 绘制 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种绘制装置,其特征在于,包括:

绘制部,其从多个释放头对沿运送方向移动的工件释放功能液,来对所述工件进行绘制;和

维护部,其具有检查部,该检查部在所述维护部沿所述运送方向移动到所述绘制部的下方的状态下进行所述多个释放头的检查。

2.如权利要求1所述的绘制装置,其特征在于:

所述检查部测量从所述多个释放头释放的所述功能液的重量。

3.如权利要求1或2所述的绘制装置,其特征在于:

所述维护部包括:

从所述多个释放头吸引所述功能液的多个吸引部;和

对被所述多个吸引部吸引了所述功能液的所述多个释放头进行擦拭的擦拭部,

所述检查部在所述运送方向上相对于所述多个吸引部设置在与所述擦拭部相反一侧。

4.如权利要求3所述的绘制装置,其特征在于:

所述绘制部包括多个承载器,所述多个承载器分别具有所述多个释放头,且沿着与所述运送方向正交的水平方向配置,

所述多个吸引部与所述多个承载器对应地设置,

所述擦拭部在与所述运送方向正交的水平方向上分别设置在所述维护部的两端,

所述检查部在与所述运送方向正交的水平方向上分别设置在所述维护部的两端。

5.如权利要求1或2所述的绘制装置,其特征在于:

包括检查膜部,在以与所述维护部的检查不同的周期执行的释放拍摄检查中,从所述多个释放头对所述检查膜部释放所述功能液,

所述维护部在所述运送方向上相对于所述绘制部设置在与所述检查膜部相反一侧。

6.一种绘制方法,其特征在于,包括:

从多个释放头对沿运送方向移动的工件释放功能液,来对所述工件进行绘制的步骤;和

沿所述运送方向移动到所述多个释放头的下方,进行所述多个释放头的检查的步骤。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社,未经东京毅力科创株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110200405.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top