[发明专利]掩模组件和制造显示设备的方法在审
申请号: | 202110193592.3 | 申请日: | 2021-02-20 |
公开(公告)号: | CN113284928A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 金相勋;李丞赈 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/32 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 史迎雪;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 制造 显示 设备 方法 | ||
本发明涉及掩模组件和制造显示设备的方法。该掩模组件包括具有开口部分的掩模框架以及在掩模框架上的掩模片,其中掩模片包括具有第一开口部分的第一主体部、连接到第一主体部并且具有与第一开口部分不同的第二开口部分的第二主体部以及连接到第一主体部并且具有第三开口部分的第三主体部。
相关申请的交叉引用
本申请要求2020年2月20日提交的第10-2020-0021143号韩国专利申请的优先权和权益,该申请出于所有目通过引用合并于此,如同在本文中充分地阐述一样。
技术领域
本发明的示例性实施例/实现方式一般涉及设备和方法,并且更具体地,涉及掩模组件和制造显示设备的方法。
背景技术
移动电子装置已被广泛使用。平板个人计算机(PC)以及诸如移动电话的小型电子装置最近已被广泛用作移动电子装置。
移动电子装置包括用于向用户提供诸如图像的视觉信息的显示设备,以支持各种功能。近来,随着被配置为驱动显示设备的其他部件已被小型化,移动电子装置中的显示设备的百分比逐渐增大,并且结构已被开发成从平面状态可弯曲一定角度。
在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景,并且因此以上信息可以包含不构成现有技术的信息。
发明内容
附加方面将部分地在下面的描述中被阐述并且将部分地从描述中显而易见,或者可以通过本公开的所呈现的实施例的实践而习得。
示例性实施例提供了一种用于制造显示设备的设备,该设备包括腔、设置在腔内部以面对显示基板的掩模组件以及面对掩模组件并且被配置为将沉积材料供给到显示基板的沉积源,其中掩模组件包括包含开口部分的掩模框架和跨越掩模框架的掩模片,其中掩模片包括包含第一开口部分的第一主体部、连接到第一主体部并且包括与第一开口部分不同的第二开口部分的第二主体部以及连接到第一主体部并且包括第三开口部分的第三主体部。
第二开口部分的形状和第三开口部分的形状可以相同。
掩模组件可以进一步包括设置在与掩模片的纵向方向不同的方向上并且支撑掩模片的支撑框架,其中第三主体部在平面图中与支撑框架重叠。
第二主体部和第三主体部可以相对于与掩模片的纵向方向平行并且穿过掩模片的中心的直线彼此相对地被设置。
从设置在第二主体部的最外部分处的第二开口部分的边缘到掩模片的边缘的距离可以与从设置在第三主体部的最外部分处的第三开口部分的边缘到掩模片的边缘的距离相同。
多个第二主体部和多个第三主体部可以被提供,其中多个第二主体部彼此对齐,并且多个第三主体部彼此对齐。
每个第二主体部和每个第三主体部可以被布置成蛇形形状。
多个第二主体部的第二开口部分的面积的和与多个第三主体部的第三开口部分的面积的和可以相同。
多个第三主体部中的一些第三主体部和其他第三主体部可以被布置成相对于与掩模片的纵向方向垂直并且穿过掩模片的中心的任意直线彼此对称。
掩模组件可以进一步包括设置在与掩模片的纵向方向不同的方向上并且支撑掩模片的支撑框架,其中多个支撑框架和多个第二主体部被提供,其中沉积材料穿过的通道区域由多个支撑框架当中的邻近的支撑框架和第一主体部的边缘限定,或者由多个支撑框架中的一个支撑框架、掩模框架和第一主体部的边缘限定,其中每个第二主体部被设置在通道区域的拐角部分处。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的