[发明专利]掩模组件和制造显示设备的方法在审
申请号: | 202110193592.3 | 申请日: | 2021-02-20 |
公开(公告)号: | CN113284928A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 金相勋;李丞赈 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/32 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 史迎雪;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 制造 显示 设备 方法 | ||
1.一种掩模组件,包括:
掩模框架,具有开口部分;以及
掩模片,在所述掩模框架上,
其中所述掩模片包括:
第一主体部,具有第一开口部分;
第二主体部,连接到所述第一主体部并且具有第二开口部分;以及
第三主体部,连接到所述第一主体部并且具有第三开口部分,
其中所述第二开口部分的形状、所述第二开口部分的尺寸以及邻近的所述第二开口部分之间的距离中的至少一个与所述第一开口部分的形状、所述第一开口部分的尺寸以及邻近的所述第一开口部分的距离中的至少一个不同。
2.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述第二开口部分的所述形状和所述第三开口部分的形状相同。
3.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述掩模组件进一步包括:
支撑框架,设置在与所述掩模片的纵向方向不同的方向上并且支撑所述掩模片,
其中所述第三主体部在平面图中与所述支撑框架重叠。
4.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述第二主体部和所述第三主体部相对于与所述掩模片的纵向方向平行并且穿过所述掩模片的中心的直线彼此相对地被设置。
5.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,从设置在所述第二主体部的最外部分处的所述第二开口部分的边缘到所述掩模片的边缘的距离与从设置在所述第三主体部的最外部分处的所述第三开口部分的边缘到所述掩模片的边缘的距离相同。
6.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,多个第二主体部和多个第三主体部被提供,
其中所述多个第二主体部彼此对齐,并且所述多个第三主体部彼此对齐。
7.根据权利要求6所述的掩模组件,其中,每个第二主体部和每个第三主体部被布置成蛇形形状。
8.根据权利要求6所述的掩模组件,其中,所述多个第二主体部的第二开口部分的面积的和与所述多个第三主体部的第三开口部分的面积的和相同。
9.根据权利要求6所述的掩模组件,其中,所述多个第三主体部中的一些第三主体部和其他第三主体部被布置成相对于与所述掩模片的纵向方向垂直并且穿过所述掩模片的中心的任意直线彼此对称。
10.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述掩模组件进一步包括:
支撑框架,设置在与所述掩模片的纵向方向不同的方向上并且支撑所述掩模片,
其中多个支撑框架和多个第二主体部被提供,
其中沉积材料穿过的通道区域由所述多个支撑框架当中的邻近的支撑框架和所述第一主体部的边缘限定,或者由所述多个支撑框架中的一个支撑框架、所述掩模框架和所述第一主体部的边缘限定,
其中每个第二主体部被设置在所述通道区域的拐角部分处。
11.一种制造显示设备的方法,所述方法包括:
将显示基板和掩模组件设置在腔内部;并且
通过所述掩模组件将沉积材料沉积在所述显示基板上,
其中所述掩模组件包括:
掩模框架,具有开口部分;以及
掩模片,在所述掩模框架上,
其中所述掩模片包括:
第一主体部,具有第一开口部分;
第二主体部,连接到所述第一主体部并且具有第二开口部分;以及
第三主体部,连接到所述第一主体部并且具有第三开口部分,
其中所述第二开口部分的形状、所述第二开口部分的尺寸以及邻近的所述第二开口部分之间的距离中的至少一个与所述第一开口部分的形状、所述第一开口部分的尺寸以及邻近的所述第一开口部分的距离中的至少一个不同。
12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述第二开口部分的所述形状和所述第三开口部分的形状相同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的