[发明专利]用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法

说明书

本发明公开了一种用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法，属于光学技术领域，用于测试薄膜反射率的装置的支架组件包括支架底座和支架底座上的伸缩杆；伸缩杆远离支架底座的一端设有固定圈，载体棒通过套接于固定圈内与伸缩杆的一端固定连接，载体板固定设置于载体棒的一端；载体板上开设有多个通孔，载体板通过穿过通孔的固定夹固定待测薄膜；待测薄膜包括薄膜本体和基底，载体板的折射率与基底的折射率差值小于或等于0.05。薄膜反射率的测试方法使用上述用于测试薄膜反射率的装置进行薄膜反射率的测试工作。本发明能够尽可能消除基底背面的反射，使薄膜反射率的测试值更加贴近真实值，减小测试误差。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，更具体地，涉及一种用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法。

背景技术

光学薄膜是附着在光学元件表面的介质薄膜，基于薄膜内光的干涉效应来改变透射光或反射光的光强、偏振状态和相位变化，从而达到改善材料的光学特性的效果，还能优化光学元件的表面性能，如提高耐磨性等。光学薄膜在光学元件上的运用，可改善光学元件的品质，因此光学薄膜可广泛应用于精密光学设备、显示器设备到日常生活中使用的眼镜、数码产品等具体产品中。

目前，介质薄膜理论和薄膜制备技术比较成熟，并在介质薄膜的实际应用中，提出了一些测量介质薄膜光学参数的方法，如椭圆偏振测量法、干涉测量法、阿贝勒方法、棱镜耦合法、反射率法等。同时，人们也设计了相应的介质薄膜光学参数的测量仪器，如分光光度计、椭偏仪、阿贝折射仪等。其中，分光光度计能够精确测量介质薄膜的透射率和反射率。

目前测试薄膜样品反射率的方式主要有：在基底底部贴附正交偏光片或黑胶带或磨砂涂黑层等各种方式涂黑，通过分光光度计测试基底的反射性能，然后在基底顶部贴附待测薄膜样品，通过分光光度计测试此时的反射性能，进而得到待测薄膜样品的反射率。该测试方式主要存在以下问题：(1)每次测试都要大量耗材，不可重复利用；(2)每个样品贴附正交偏光片或黑胶带或磨砂涂黑层的耗材，费时间；(3)胶水、偏光片、胶带、油墨等材料的折射率不完全匹配基底材料，因此会导致基底与它们的界面处也有反射率贡献，导致最终得到的待测薄膜样品反射率与真实值有所偏差；(4)每个样品基底背面人为粘贴不一样的偏光片、胶带、油墨等物质，也会导致测试数据之间的偏差。

因此，提供一种能够使待测薄膜样品反射率的测试值更加贴近真实值，且可以重复利用、结构简单、灵活性高的用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法，以解决现有技术中测试耗材量大，不可重复利用、费时间且测试值准确率不高的问题。

本发明公开了一种用于测试薄膜反射率的装置，包括：支架组件、载体棒和载体板；支架组件包括支架底座和设置于支架底座上的伸缩杆，伸缩杆沿第一方向拉伸；伸缩杆远离支架底座的一端设有固定圈，载体棒通过套接于固定圈内与伸缩杆的一端固定连接，载体棒沿第二方向延伸，其中，第一方向与第二方向相交；载体板固定设置于载体棒的一端；载体板上开设有多个通孔，每个通孔内设有固定夹；载体板通过穿过通孔的固定夹固定待测薄膜；待测薄膜包括薄膜本体和基底，载体板的折射率与基底的折射率差值小于或等于0.05。

基于同一发明构思，本发明还公开了一种薄膜反射率的测试方法，使用上述用于测试薄膜反射率的装置进行薄膜反射率的测试工作；该测试方法包括：提供测试机台，测试机台包括出光孔；将待测薄膜固定于载体板远离载体棒的一侧，通过穿过通孔的固定夹固定待测薄膜；其中，待测薄膜的基底位于待测薄膜的薄膜本体靠近载体板的一侧；调节支架组件的伸缩杆的拉伸高度，使待测薄膜的薄膜本体表面与测试机台的出光孔所在表面相互平行且贴紧；启动测试机台，出光孔出射光线经薄膜本体表面反射后被测试机台接收，完成待测薄膜的反射率测试。

与现有技术相比，本发明提供的用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法，至少实现了如下的有益效果：