[发明专利]用于测试薄膜反射率的装置及薄膜反射率的测试方法有效

专利信息
申请号: 202110182964.2 申请日: 2021-02-08
公开(公告)号: CN112964456B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 顾跃凤 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01N21/55;G01N21/01
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 201201 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 测试 薄膜 反射率 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,包括:支架组件、载体棒和载体板;

所述支架组件包括支架底座和设置于所述支架底座上的伸缩杆,所述伸缩杆沿第一方向拉伸;

所述伸缩杆远离所述支架底座的一端设有固定圈,所述载体棒通过套接于所述固定圈内与所述伸缩杆的一端固定连接,所述载体棒沿第二方向延伸,其中,所述第一方向与所述第二方向相交;

所述载体板固定设置于所述载体棒的一端;所述载体板上开设有多个通孔,每个所述通孔内设有固定夹;所述载体板通过穿过所述通孔的固定夹固定待测薄膜;

所述待测薄膜包括薄膜本体和基底,所述载体板的折射率与所述基底的折射率差值小于或等于0.05。

2.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述载体板的厚度为D1,所述基底的厚度为D2,D1>D2。

3.根据权利要求2所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,D1≥10D2。

4.根据权利要求2所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述载体棒的材质与所述载体板的材质相同,所述载体棒的长度为L1,L1>D1。

5.根据权利要求4所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,L1≥10D1。

6.根据权利要求4所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述载体棒与所述载体板为一体成型结构。

7.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,包括两组所述支架组件,两组所述支架组件沿所述第二方向排列。

8.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,还包括转向器,所述转向器设置于所述支架组件上方;

所述固定圈通过所述转向器与所述伸缩杆固定连接。

9.根据权利要求8所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述转向器包括铰链结构或螺栓螺母结构或万向轴中的任一者。

10.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述固定夹包括第一螺栓和套接于所述第一螺栓上的垫片,所述待测薄膜位于所述载体板和所述垫片之间。

11.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述通孔内壁设有多个凸起结构。

12.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述固定圈包括两个C形套件,两个所述C形套件通过第二螺栓锁定形成所述固定圈。

13.根据权利要求1所述的用于测试薄膜反射率的装置,其特征在于,所述固定圈内壁固定贴附有防滑层,所述防滑层包括橡胶层或绒布层中的任一者。

14.一种薄膜反射率的测试方法,其特征在于,使用权利要求1-13任一项所述的用于测试薄膜反射率的装置进行薄膜反射率的测试工作;所述测试方法包括:

提供测试机台,所述测试机台包括出光孔;

将待测薄膜固定于所述载体板远离所述载体棒的一侧,通过穿过所述通孔的固定夹固定所述待测薄膜;其中,所述待测薄膜的基底位于所述待测薄膜的薄膜本体靠近所述载体板的一侧;

调节所述支架组件的所述伸缩杆的拉伸高度,使所述待测薄膜的薄膜本体表面与所述测试机台的出光孔所在表面相互平行且贴紧;

启动所述测试机台,所述出光孔出射光线经所述薄膜本体表面反射后被所述测试机台接收,完成所述待测薄膜的反射率测试。

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