[发明专利]阵列式光电探测器测试系统有效
申请号: | 202110181100.9 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN112985487B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 张观欣;赵向凯;张晓洁;席晓理;陈潞;李冬梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01D18/00 | 分类号: | G01D18/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 光电 探测器 测试 系统 | ||
本发明提供了一种阵列式光电探测器测试系统,包括探测器安装阵列、光照阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源和上位机软件,其中,探测器安装阵列,包括M×N组探测器测试座,用于将多个光电探测器以阵列的方式进行安装;光照阵列,包括M×N组准直镜头,用于为光电探测器提供光照;上位机软件,对探测器安装阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源等进行控制,以实现自动化测试。本发明可以大幅提高光电探测器测试速度,实现自动化测试,特别是在高低温箱内或其他密闭环境下测试时,无法打开高低温箱进行单个光电探测器的更换时,通过本发明进行电子切换进行轮循测试可提高测试效率。
技术领域
本发明涉及光电探测技术领域,尤其涉及一种阵列式光电探测器测试系统,用于对多个光电探测器进行指标参数筛选和测试。
背景技术
光电探测器是一种将外界光信号转换为电信号的半导体器件,其响应度、动态范围、噪声、偏置电压等重要参数与应用息息相关,特别是雪崩光电二极管(APD探测器)由于其生产工艺的原因,探测器指标参数差别大。要最大程度利用APD探测器的性能,必须首先对每一个探测器的性能进行测试,获得其指标参数再进行应用。该过程复杂繁琐,费时费力。
现有技术公开了一种进行多探测器测试系统,该发明采用手动在选通面板上进行操作,采用数码管信号灯指示选择的通道,通过手动改动不同光纤耦合头进行光源切换,效率低下,无法实现自动化测试。
发明内容
有鉴于此,本发明的主要目的在于提供一种阵列式光电探测器测试系统,以期部分地解决上述技术问题中的至少之一。
为了实现上述目的,本发明提供了一种阵列式光电探测器测试系统,包括探测器安装阵列、光照阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源和上位机软件,其中,
探测器安装阵列,包括M×N组探测器测试座,用于将多个光电探测器以阵列的方式进行安装;
光照阵列,包括M×N组准直镜头,用于为光电探测器提供光照;
上位机软件,对探测器安装阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源等进行控制,以实现自动化测试。
其中,所述探测器测试座和所述准直镜头一一对应,同轴设置,两者之间通过定位销进行精确定位对准。
其中,所述测试系统还包括上位机软件,光电探测器的供电、高压和信号输出通过上位机软件发送指令到通道切换板进行通道切换,将外接电缆切换到被测光电探测器上。
其中,所述光照阵列由单根光纤进行信号输入,由光纤分束器分成M×N路,通过准直镜头扩束对探测器进行测试,各分束器输出能量相同。
其中,所述探测器测试座上设有前置放大器,保证信号长距离输出不变形。
其中,所述测试系统还包括印制板、盖板和夹持装置。
其中,所述印制板安装在所述盖板背面,所述印制板上有连接插头和测试座,所述连接插头与所述连接插座相互配合。
其中,所述盖板上设有定位柱和手动螺钉;
所述夹持装置安装在所述盖板左侧,所述夹持装置上设有光输入接口和手动螺钉。
其中,所述测试系统还包括光纤、探测器信号输出电缆、探测器供电电缆和探测器高压电缆,用于信号传输。
其中,对所述探测器安装阵列中各探测器测试座进行编号,并与通道切换板上的编号对应,上位机通过编号对被测探测器进行切换。
基于上述技术方案可知,本发明的阵列式光电探测器测试系统相对于现有技术至少具有如下有益效果的一部分:
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