[发明专利]阵列式光电探测器测试系统有效
申请号: | 202110181100.9 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN112985487B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 张观欣;赵向凯;张晓洁;席晓理;陈潞;李冬梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01D18/00 | 分类号: | G01D18/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 光电 探测器 测试 系统 | ||
1.一种阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,包括探测器安装阵列、光照阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源和上位机软件,其中,
探测器安装阵列,包括M×N组探测器测试座,用于将多个光电探测器以阵列的方式进行安装;
光照阵列,包括M×N组准直镜头,用于为光电探测器提供光照;其中,所述探测器测试座和所述准直镜头一一对应,同轴设置,两者之间通过定位销进行精确定位对准;所述光照阵列由单根光纤进行信号输入,由光纤分束器分成M×N路,通过准直镜头扩束对探测器进行测试,各分束器输出能量相同;
所述稳压电源,用于为所述光电探测器供电;
所述高压直流电源,用于为所述光电探测器提供高压;
所述AD采集模块,用于将所述光电探测器的信号输出;
上位机,对所述探测器安装阵列、所述测试光源、所述稳压电源、所述AD采集模块、所述高压直流电源进行控制,以实现自动化测试;
所述光电探测器的供电、高压和信号输出通过上位机发送指令到通道切换板进行通道切换,将外接电缆切换到被测光电探测器上;
其中,对所述探测器安装阵列中各探测器测试座进行编号,并与通道切换板上的编号对应,上位机通过编号对被测探测器进行切换;
其中,所述上位机通过外接电缆将所需测试的光电探测器的编号发送到通道切换板上的处理器中,所述处理器根据所需测试的光电探测器的编号将信号输出、供电和高压切换到所需测试的光电探测器上,使所需测试的光电探测器分别连通到外部探测器信号输出电缆、探测器供电电缆和探测器高压电缆上,启动所述测试光源使所有光照阵列中的准直镜头均有光信号,从而对与所需测试的光电探测器的编号对应的光电探测器进行测试,测试结束后,所述上位机将下一个被测的光电探测器的编号发送到所述通道切换板上,对下一个光电探测器进行测试,各编号探测器依次进行,直到所有光电探测器均测试完成。
2.根据权利要求1所述的阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,所述探测器测试座上设有前置放大器,保证信号长距离输出不变形。
3.根据权利要求1所述的阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,所述测试系统还包括印制板、盖板和夹持装置。
4.根据权利要求3所述的阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,所述印制板安装在所述盖板背面,所述印制板上有连接插头和测试座,所述连接插头与连接插座相互配合。
5.根据权利要求3所述的阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,所述盖板上设有定位柱和手动螺钉;
所述夹持装置安装在所述盖板左侧,所述夹持装置上设有光输入接口和手动螺钉。
6.根据权利要求3所述的阵列式光电探测器测试系统,其特征在于,所述测试系统还包括光纤、探测器信号输出电缆、探测器供电电缆和探测器高压电缆,用于信号传输。
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