[发明专利]一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法

说明书

本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，包括以下步骤：1）、确定光谱仪的镜头与平台A轴垂直；2）、寻找B轴的机械圆心；3）、设定五轴的机械原点；4）、进行角度拟合；5）、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标。与现有技术相比，本发明提供的五轴角度测试方法具有成本低、精度高（1～2um级别），可满足小尺寸产品任意角度的测试。

技术领域

本发明涉及硅基Micro OLED微显示器领域，具体而言涉及一种使用算法实现一种硅基Micro OLED微显示器在低成本时的高精度的五轴角度测试方法。

背景技术

硅基Micro OLED微型显示器件是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件，区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管（LPTS）为背板的AMOLED器件，其像素为传统显示器件的1/10，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。

而传统低温多晶硅LTPS-OLED显示器仅能达到800PPI的分辨率和120HZ的刷新率，因此容易产生眩晕感，而硅基Micro OLED搭载在高纯度硅基半导体背板电路之上，能够实现2000PPI的分辨率和2000HZ的刷新水平，特别适合包括AR/VR终端、望远镜、军事应用瞄准镜、摄像头、无人机第一视角镜等方面的应用。随着5G应用加持，AR/VR 逐渐从军用市场拓展到消费级市场，向更多领域渗透。

在硅基Micro OLED微型显示器件的光学测试时，由于其本身发光区域尺寸都是mm级别的（如一款产品，其发光区域为6mm*10mm），其上面的显示“+”为2um粗细。而在角度测试时，需要五轴联动，如何在测试任意角度时，保证其光谱仪的测试点一直都在“+”的中心点上面。而市面上的高精度五轴平台的成本动则几十万，对于光学机台来说，成本过高，无法承受。如何用低成本又能达到高精度的五轴平台转动，这是一个难点。

在进行角度测试时，理论上在不同的测量角度时，其沿着机械圆心旋转时，其旋转半径是一致的。但是实际上在不同的测量角度上其旋转半径是有一定的偏差的。导致这一误差的原因主要有以下几点：（1）、由于测试仪器上的X、Y、Z三轴与下面产品放置平台的A、B两轴的匹配性；（2）、机构组装过程中的机械误差；（3）、由于光谱仪本身安装存在的机构误差；（4）、由于产品放置时存在一定的机构误差，比如不是绝对的水平等原因。

由于上面种种原因导致存在不可避免的机构误差，而这些机构误差在进行角度测试时会导致一定的旋转角度误差；同时由于产品本身过小（6mm），故在多倍放大镜下观察时，可以明显看到其测试点与产品中心偏差较大，误差在0.5-1mm左右，而0.5-1mm（500um～1000um）的误差在此类产品上已经非常之大，实际允许误差为1um～2um。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种低成本、高精度的硅基MicroOLED微显示器高精度角度测试方法。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是：一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，所述测试方法主要包括以下步骤：

步骤1）、确定光谱仪的镜头与A轴垂直；

在光谱仪的目镜上安装CCD视觉相机，通过相机可以实时得到光谱仪的测试光斑所对准的位置；首先，在平台上放置一个标准的“+”标记；让测试光斑对准 “+”，然后移动测试机台的Z轴，让其上下移动；从相机中实时查看测试光斑是否一直对准这个“+”中心；在移动过程中，随着距离的变化，实时调整光谱仪镜头的焦距，达到在每个距离时，都能清晰的看到“+”标记；当无论是距离最远处还是距离最近处，测试光斑都与“+”标记重合时，则认为光谱仪的镜头与A轴垂直；

步骤2）、寻找B轴的机械圆心；