[发明专利]一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法

权利要求书

1.一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，其特征在于，所述测试方法主要包括以下步骤：

步骤1)、确定光谱仪的镜头与A轴垂直；

在光谱仪的目镜上安装CCD视觉相机，通过相机可以实时得到光谱仪的测试光斑所对准的位置；首先，在平台上放置一个标准的“+”标记；让测试光斑对准“+”，然后移动测试机台的Z轴，让其上下移动；从相机中实时查看测试光斑是否一直对准这个“+”中心；在移动过程中，随着距离的变化，实时调整光谱仪镜头的焦距，达到在每个距离时，都能清晰的看到“+”标记；当无论是距离最远处还是距离最近处，测试光斑都与“+”标记重合时，则认为光谱仪的镜头与A轴垂直；

所述步骤1)中，当测试光斑与“+”标记没有对准时，则要通过安装在光谱仪背后的XY微调机构进行调整；XY微调机构，可以在测试机台的X方向和Y方向进行微调；调试方法如下：当测试光斑与“+”标记的距离最近处，让测试光斑在“+”标记的中心；移动测试机台的Z轴到最远处，调整焦距，显示清晰的“+”；此时测试光斑坐落在“+”的位置(X,Y)，通过调整XY微调机构把测试光斑调整到“+”坐标的(-X，-Y)；然后再将测试机台的Z轴移动到最近处，将测试光斑对准“+”；再移动测试机台的Z轴到最远处，看测试光斑是否对准“+”；循环多次，直到测试光斑在最近处和最远处都对准“+”标记；

步骤2)、寻找B轴的机械圆心；

先在B轴上标记一个“+”标记点，认为此标记点为机械圆心，移动测试机台的X、Y轴，让光谱仪的测试光斑对准此标记点，记录下此标记点的X、Y坐标为(X1，Y1)；将B轴旋转180度，再移动测试机台的X、Y轴，使测试光斑再次对准“+”标记点，记录此时标记点的坐标(X2，Y2)；则B轴的真实机械圆心就是：X0＝(X2-X1)/2；Y0＝(Y2-Y1)/2；移动B轴回到0度，移动测试机台的X、Y轴到(X0，Y0)，然后结合相机实时对准，将“+”移动到(X0，Y0)的位置；

步骤3)、设定五轴的机械原点；

X轴的机械原点为上述步骤2)中的X0；Y轴的机械原点为上述步骤2)中提到的Y0；A轴的机械原点为水平仪测试出来的0度角；B轴机械原点的确定方法为：在平台上画一条通过机械圆心的直线，Y轴前后移动时通过相机观测，同时调整B轴的角度，直到B轴的某个角度达到与Y轴平行，使Y轴能沿着所画的直线移动时，该角度即为B轴的机械原点；Z轴的机械原点为光谱仪的镜头离平台150mm的位置处；

步骤4)、进行角度拟合；

a.在步骤2)中得到的B轴机械圆心处放置“+”标记，移动X、Y轴，让其回归到(0，0)，让光谱仪的测试光斑对准“+”标记；

b.移动A轴到一定角度a，然后移动X轴，先看到“+”；然后调整Z轴，使“+”标记的竖线到清晰为止，再微调X、Y轴，使测试光斑到“+”标记的中心，记录下此时的X轴坐标、Y轴坐标为(X，Y)；

c.依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xn，Yn)，其中n为≥0的整数；

d.依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xm，Ym)，其中m为≥0的整数；

e.将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式一；

f.将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式三；

g.将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式二；

h.将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式四；

步骤5)、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标；

实际测试时，已知旋转角度a，产品离平台的高度H，光谱仪实际的高度Z0，没有放置产品时的X轴坐标为X0，X0可根据上述步骤4)中的公式一或公式二得到，旋转半径为r＝X0/sin(a)；当放置产品在平台上时，旋转半径R＝H+r，得到公式五为X1＝H*sin(a)+X0，根据公式五可得到X1；公式六和公式七分别为ΔZ＝(H+r)*(1-cos(a))＝(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))和Z1＝Z0-ΔZ＝Z0-(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))，ΔZ为Z轴的变化量；根据公式七可得到Z1；根据公式三或公式四，可得到Y1，坐标(X1，Y1，Z1)是产品的中心点与B轴的机械圆心一致时的坐标值。