[发明专利]蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法

说明书

本申请提供一种蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法，属于蒸发镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括沿基材的输送路径依次设置的用于对基材的同一表面进行镀膜的至少两组镀膜组件。每组镀膜组件包括主冷辊和蒸镀装置，蒸镀装置被配置成对基材进行镀膜，主冷辊被配置成对基材进行冷却。该蒸发镀膜设备能够减少超薄基材(厚度小于8μm的基材)在镀膜的过程中的穿孔的可能性，可以使镀膜效果更好。

技术领域

本申请涉及蒸发镀膜技术领域，具体而言，涉及一种蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法。

背景技术

在基材上蒸镀或磁控溅射形成导电层，从而得到导电膜。现有技术中，对于厚度较薄的导电膜，经常出现基材穿孔、褶皱、变形等缺陷。

发明内容

本申请的目的在于提供一种蒸发镀膜设备及基材的镀膜方法，能够改善镀膜的过程中超薄基材出现热损伤的问题。

第一方面，本申请提供一种蒸发镀膜设备，蒸发镀膜设备包括沿基材的输送路径依次设置的至少两组镀膜组件。每组镀膜组件包括主冷辊和蒸镀装置，蒸镀装置被配置成对基材进行镀膜，主冷辊被配置成对基材进行冷却。

发明人研究发现，为了使基材上的镀层达到目标值，则需要基材上具有足够的蒸发量，蒸发量较大，则基材的受热程度较大，如果基材是超薄基材(厚度小于8μm的基材)，则大量的热量容易对基材造成热损伤。本申请中，设置至少两组镀膜组件，在蒸发量相同的情况下，经过每一组镀膜组件的蒸发量会减少，则基膜的受热程度减小，且每蒸镀一次，就对基材进行冷却；经过下一组镀膜组件再次对基材的同一表面继续进行镀膜时，热量不会累积，可以对超薄基材进行二次镀膜，从而使超薄基材上的镀层达到需求，且可以减少甚至避免对超薄基材造成热损伤，使镀膜效果更好。

在一种可能的实施方式中，每组镀膜组件的蒸镀装置设置于主冷辊的下方，蒸镀装置被配置成对包覆主冷辊的基材进行镀膜。

采用贴辊式方式对超薄基材进行镀膜，一方面，可以使基材的镀膜效果更高；另一方面，可以使基材的冷却效果更好，可以对超薄基材进行镀膜的同时，进一步减少超薄基材穿孔的可能性。在一种可能的实施方式中，主冷辊的辊面上设置有陶瓷涂层，且主冷辊被配置成接受偏压电源。可以使超薄基材与主冷辊之间进行吸附贴合，使基材得到充分冷却，降低蒸发热量对基材的影响。

可选地，主冷辊的直径为200～2400mm。对于厚度小于8μm的超薄基材来说，主冷辊的直径在上述范围之内，可以基材与主冷辊的贴辊效果更好。

在一种可能的实施方式中，主冷辊内部设置用于通入冷却液的冷却通道，主冷辊的辊轴用于连接负电极，冷却通道的内壁用于连接正电极。

通电后，可以在陶瓷涂层表面形成负电极，对基材形成静电吸附作用，从而使基材与主冷辊之间的贴辊效果更好，使基材得到充分冷却，避免基材在镀膜的过程中造成热损伤。

在一种可能的实施方式中，镀膜组件还包括碳纤维辊，碳纤维辊设置于主冷辊的后端，且用于改变基材的输送方向。

在镀膜的过程中，基材与主冷辊贴辊式输送，为了改变基材的输送方向，在主冷辊的后端设置碳纤维辊，以便将基材输送至下一组镀膜组件进行镀膜。由于碳纤维辊要改变基材的输送方向，所以，碳纤维辊会与基材上的镀层接触，碳纤维辊的表面为碳纤维，硬度小，粗糙度小，能够避免对镀层造成损伤，以便基材的顺利输送。

可选地，碳纤维辊的直径为40～250mm。对于厚度小于8μm的超薄基材来说，碳纤维辊的直径在上述范围之内，可以在改变输送方向的同时，减少镀层与碳纤维辊的接触面积。

在一种可能的实施方式中，每组镀膜组件的蒸镀装置设置于主冷辊的前端，蒸镀装置被配置成对基材进行镀膜，主冷辊被配置成冷却镀膜后的基材。

本申请中，还可以使用悬浮式方式对超薄基材进行镀膜，也能够在一定程度上避免对超薄基材造成热损伤，使镀膜效果更好。