[发明专利]一种超薄柔性均热板及制造方法

说明书

本发明公开了一种超薄柔性均热板及制造方法，包括依次贴合设置的上壳板、上壳板吸液芯、柔性支撑板、下壳板吸液芯和下壳板，所述上壳板设有第一褶皱结构，所述下壳板设有第二褶皱结构，所述第一褶皱结构及第二褶皱结构的位置相对应，所述上壳板及下壳板均为凹坑结构，上壳板及下壳板贴合后形成密闭腔体，所述柔性支撑板为褶皱板，其上设有孔洞。本发明的超薄柔性均热板具有厚度薄，可柔性安装，散热能力高等优点，是柔性以及曲面电子元件散热的理想选择。

技术领域

本发明涉及微电子器件散热技术领域，具体涉及一种超薄柔性均热板及制作方法。

背景技术

随着电子设备的微小化、集成化、功能复杂化，电子设备的散热要求越来越高，如何实现有限空间的高热流密度散热成为制约微电子设备发展的主要瓶颈之一。另一方面，随着近年来，可穿戴设备、柔性显示屏等的大规模推广应用，实现柔性条件下电子设备的均温散热成为散热领域的研究热点。

均热板，通过相变散热，具有体积小，价格低，均温散热能力大，容易安装维护，是目前微电子设备散热领域研究的重点。然而，目前的超薄柔性均热板研究还处于起步阶段，对于实现均热板柔性的研究仍集中在柔性材料的选择上。中国专利申请CN107764116A公开了一种采用金属箔材、高分子薄膜以及复合薄膜等柔性材料制作上下壳板，通过多孔塑料、多孔聚合物、泡沫金属以及多层编织丝网等柔性多孔材料制作吸液芯结构的超薄柔性均热板。中国专利 CN209745072U公开了一种通过记忆金属制作壳板结构的柔性均热板。然而，这种通过材料实现柔性的均热板不可避免的会面临着价格高昂，柔性小，导热能力差等问题，不利于超薄柔性电子设备的大规模应用。

发明内容

为了克服现有技术存在的缺点与不足，本发明第一个目的是提供一种厚度薄，柔性大，支撑强度大，散热效率高的超薄柔性均热板。

本发明的第二个目的是提供一种超薄柔性均热板的制作方法。

本发明的第一个目的采用如下技术方案：

一种超薄柔性均热板，包括依次贴合设置的上壳板、上壳板吸液芯、柔性支撑板、下壳板吸液芯和下壳板，所述上壳板设有第一褶皱结构，所述下壳板设有第二褶皱结构，所述第一褶皱结构及第二褶皱结构的位置相对应，所述上壳板及下壳板均为凹坑结构，上壳板及下壳板贴合后形成密闭腔体。

进一步，所述柔性支撑板为多孔金属板，该多孔金属板为褶皱板。

进一步，所述上壳板吸液芯及下壳板吸液芯均为柔性多孔材料，包括金属粉末烧结、泡沫金属及编织丝网。

进一步，多孔金属板的孔径大小及密度根据柔性多孔支撑板的强度和气体通道大小设置。

进一步，第一褶皱结构及第二褶皱结构的形状为三角形。

进一步，所述多孔金属板的孔洞形状为圆形、三角形、矩形或梯形。

进一步，第一及第二褶皱结构的高度相同。

进一步，所述褶皱板的褶皱形状为半圆形、三角形及梯形。

进一步，第一及第二褶皱结构的高度为0.2mm。

本发明的第二个目的采用如下技术方案：

一种超薄柔性均热板的制造方法，包括如下步骤：

上、下壳板一体冲压成型：通过模具实现对上、下壳板的凹坑结构及第一、第二褶皱结构一体冲压成型；

上、下壳板吸液芯分别与上、下壳板烧结成型：过真空烧结技术将柔性吸液芯结构烧结于上下壳板凹坑内；

柔性多孔支撑板的孔洞冲裁及褶皱冲压成型：通过冲压机实现对金属板多孔结构加工，进一步通过特定模具实现对多孔金属板褶皱结构冲压成型；