[发明专利]一种基于物联网的清洗用夹持结构

说明书

本发明公开了一种基于物联网的清洗用夹持结构，涉及晶圆清洗技术领域；包括主体、至少三个滑动连接在主体一端的用于夹持晶圆的爪部、用于检测晶圆的圆度的检测机构、用于控制爪部开合的控制机构、和检测机构连接的处理模块、和处理模块连接的无线通讯模块；所述主体端部设有若干用于支撑晶圆的支撑柱；所述爪部以主体的轴为中心呈环形阵列布置。本发明提出一种基于物联网的清洗用夹持结构，能进行远程监控。

技术领域

本发明属于晶圆清洗技术领域，特别涉及一种基于物联网的清洗用夹持结构。

背景技术

晶圆在生产好了之后，需要进行清洗，清洗的时候，用夹持结构夹住晶圆，然后进行清洗。

现有的夹持结构无法进行远程监控。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术上述缺点，提出一种基于物联网的清洗用夹持结构，能进行远程监控。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种基于物联网的清洗用夹持结构，包括主体、至少三个滑动连接在主体一端的用于夹持晶圆的爪部、用于检测晶圆的圆度的检测机构、用于控制爪部开合的控制机构、和检测机构连接的处理模块、和处理模块连接的无线通讯模块；所述主体端部设有若干用于支撑晶圆的支撑柱；所述爪部以主体的轴为中心呈环形阵列布置。将晶圆放置在支撑柱上，控制机构控制爪部，将晶圆夹紧去清洗，实现夹持功能，检测机构可以检测晶圆是否是圆形的，如果是有缺陷（不是圆形）的晶圆，则不进行清洗，无线通讯模块将晶圆检测情况发送到终端，便于远程监控。

作为优选，主体端部在爪部对应位置设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述爪部和对应的滑块连接，所述滑槽靠近主体的轴的一侧设有第二滑槽，所述主体内设有第三滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有推杆，所述推杆上端设有用于推动滑块在滑槽内滑动的导向面，所述主体上设有用于将滑块顶紧在导向面上的弹簧，所述第三滑槽内滑动连接有连接头，所述推杆和连接头连接，所述主体内滑动连接有驱动杆，所述连接头和驱动杆连接；所述控制机构为电缸；所述电缸和驱动杆连接。通过电缸驱动驱动杆，进而通过导向面驱动滑块在第二滑槽内运动，弹簧给爪部提供夹持力。

作为优选，爪部包括一端转动连接在滑块上的转轴、连接在转轴另一端的连接杆、连接在连接杆靠近主体的轴一端的定位柱、连接在连接杆另一端的支架、穿过支架的滑动轴、转动连接在滑动轴远离定位柱的一端的滚轮、位于滑动轴和定位柱之间的第二弹簧、用于转动转轴的伺服电机；所述检测机构包括位于滑动轴和第二弹簧之间的压力传感器、用于旋转晶圆的旋转机构，所述压力传感器和无线通讯模块连接。爪部同时具有双重功能，通过定位柱实现夹持和定位功能，而滚轮配合检测机构能实现判断晶圆是否为圆形的功能。

作为优选，旋转机构包括转动连接在主体端部的转盘、用于转动转盘的转动电机；所述支撑柱一端和转盘连接；所述旋转机构还包括位于支撑柱远离转盘的一端的吸盘、位于吸盘上的吸气孔、和吸气孔连接的气泵。晶圆被吸附在吸盘上，晶圆不容易损坏。

作为优选，定位柱的横截面为圆形。不容易损伤晶圆。

作为优选，定位柱、连接杆、支架为一体成型结构。便于生产。

作为优选，爪部的数量为四个。增加夹持的稳定性。

本发明的有益效果是：本发明提出一种基于物联网的清洗用夹持结构，（1）晶圆放置在吸盘上，电缸运行，定位柱抵靠在晶圆的外缘，对晶圆进行定位；（2）伺服电机旋转180度，滚轮抵靠在晶圆上，第二弹簧被压缩，转盘带动晶圆旋转，通过压力传感器数值判断晶圆是否为圆形；对晶圆进行检测；（3）无线通讯模块将晶圆的检测结果发送给终端，供工作人员查看；具有远程监控的功能。

附图说明

图1为本发明的示意图；

图2为图1的A处放大图；

图3为本发明的俯视图；