[发明专利]一种基于物联网的清洗用夹持结构

权利要求书

1.一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，包括主体、至少三个滑动连接在主体一端的用于夹持晶圆的爪部、用于检测晶圆的圆度的检测机构、用于控制爪部开合的控制机构、和检测机构连接的处理模块、和处理模块连接的无线通讯模块；

所述主体端部设有若干用于支撑晶圆的支撑柱；

所述爪部以主体的轴为中心呈环形阵列布置；

所述主体端部在爪部对应位置设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述爪部和对应的滑块连接，所述滑槽靠近主体的轴的一侧设有第二滑槽，所述主体内设有第三滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有推杆，所述推杆上端设有用于推动滑块在滑槽内滑动的导向面，所述主体上设有用于将滑块顶紧在导向面上的弹簧，所述第三滑槽内滑动连接有连接头，所述推杆和连接头连接，所述主体内滑动连接有驱动杆，所述连接头和驱动杆连接；

所述控制机构为电缸；

所述电缸和驱动杆连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，所述爪部包括一端转动连接在滑块上的转轴、连接在转轴另一端的连接杆、连接在连接杆靠近主体的轴一端的定位柱、连接在连接杆另一端的支架、穿过支架的滑动轴、转动连接在滑动轴远离定位柱的一端的滚轮、位于滑动轴和定位柱之间的第二弹簧、用于转动转轴的伺服电机；

所述检测机构包括位于滑动轴和第二弹簧之间的压力传感器、用于旋转晶圆的旋转机构，所述压力传感器和无线通讯模块连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，所述旋转机构包括转动连接在主体端部的转盘、用于转动转盘的转动电机；

所述支撑柱一端和转盘连接；

所述旋转机构还包括位于支撑柱远离转盘的一端的吸盘、位于吸盘上的吸气孔、和吸气孔连接的气泵。

4.根据权利要求2所述的一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，所述定位柱的横截面为圆形。

5.根据权利要求2所述的一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，所述定位柱、连接杆、支架为一体成型结构。

6.根据权利要求1所述的一种基于物联网的清洗用夹持结构，其特征在于，所述爪部的数量为四个。