[发明专利]一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，包括柔性绝缘薄膜基底（1），所述柔性绝缘薄膜基底（1）的第一表面上间隔设置有第一铜导线（2）和第二铜导线（3），第一铜导线（2）和第二铜导线（3）之间设置有第二导电银浆（6），第二导电银浆（6）与第二铜导线（3）相连，第二导电银浆（6）与第一铜导线（2）之间保持足够的距离以防发生短路；所述第一铜导线（2）和所述第二铜导线（3）之间设置有压电薄膜晶片（5），所述压电薄膜晶片（5）具有顶电极（8）和底电极（9）；所述压电薄膜晶片（5）的底电极（9）通过第二导电银浆（6）与所述第二铜导线（3）连接，所述压电薄膜晶片（5）的顶电极（8）通过第一导电银浆（7）与所述第一铜导线（2）连接；所述柔性绝缘薄膜基底（1）和所述压电薄膜晶片（5）上设置有绝缘胶带（4）用于对器件进行封装；

所述柔性绝缘薄膜基底（1）的与所述第一表面相反的第二表面上设置有第一金属屏蔽层（10）；所述绝缘胶带（4）上设置有第二金属屏蔽层（11）。

2.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，所述柔性绝缘薄膜基底（1）所使用的材料为PI。

3.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，所述压电薄膜晶片（5）为铌酸锂单晶薄膜或钽酸锂单晶薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，所述绝缘胶带（4）所使用的材料为PI。

5.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，所述第一金属屏蔽层（10）和第二金属屏蔽层（11）所使用的材料为铝、铜、铂、金或钼。

6.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器，其特征在于，所述传感器的厚度小于200微米。

7.一种权利要求1-6任一项所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

使用掩膜版和采用磁控溅射的方式，制备压电薄膜晶片（5）的顶电极（8）和底电极（9）；

在所述柔性绝缘薄膜基底（1）上形成间隔设置的第一铜导线（2）和第二铜导线（3）；

在所述第一铜导线（2）和所述第二铜导线（3）之间涂抹银浆，形成第二导电银浆（6）；所述第二导电银浆（6）与第二铜导线（3）相连，所述第二导电银浆（6）与第一铜导线（2）之间保持足够的距离以防发生短路；

将所述压电薄膜晶片（5）的底电极（9）放置在所述第二导电银浆（6）上；

在所述顶电极（8）和所述第一铜导线（2）之间涂抹第一导电银浆（7）；

在所述柔性绝缘薄膜基底（1）和所述压电薄膜晶片（5）上形成绝缘胶带（4）；

将封装好的传感器放在磁控溅射设备中，正反两面各溅射一层金属屏蔽层。

8.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜式压电声发射传感器的制备方法，其特征在于，所述底电极（9）设置在所述压电薄膜晶片（5）上远离所述第一铜导线（2）的一侧。