[发明专利]对准方法及对准系统

权利要求书

1.一种对准方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：调整图像采集部，使所述图像采集部的边缘图像采集部和特征标记图像采集部相对校准装置两侧设置并远离所述校准装置；

S2：将待对准的两个基板放置于所述校准装置的支撑部，使所述两个基板相对；

S3：通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息后发送至主控部进行所述核对计算；

S4：所述主控部将经过所述核对计算得到的校准信息发送至所述校准装置的导向部，所述导向部根据所述校准信息进行补偿调整。

2.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，所述校准装置还包括设置于所述导向部的旋转驱动部和运动转换部，所述步骤S4还包括，所述导向部进行所述补偿调整的过程中，所述运动转换部将所述旋转驱动部的旋转运动转化为直线运动，以利于调整所述两个基板之间的相对位置。

3.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，所述边缘图像采集部包括两个相互平行设置的边缘取像结构，所述特征标记图像采集部包括特征标记取像结构，所述步骤S1还包括，调节所述特征标记取像结构朝向两个所述边缘取像结构的中间位置，并使两个所述边缘取像结构和所述特征标记取像结构三者朝向所述校准装置的轴线在同一平面。

4.根据权利要求3所述的对准方法，其特征在于，所述步骤S1还包括使所述导向部沿垂直于所述平面方向的轴线距离两个所述边缘取像结构的任意一种的近端的垂直距离等于距离所述特征标记取像结构近端的垂直距离。

5.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，所述支撑部包括吸附结构以及相对设置的支撑盘结构和对应支撑盘结构，所述步骤S2中，提供传输结构，通过所述传输结构使所述两个基板的任意一个承接于所述吸附结构后，再通过所述吸附结构将所述两个基板分别置于所述对应支撑盘结构和所述支撑盘结构，从而使所述两个基板相对。

6.根据权利要求5所述的对准方法，其特征在于，所述步骤S2中，通过所述主控部控制承载有一个基板的所述吸附结构相对于承载有另一个基板的所述对应支撑盘结构之间的距离，使所述两个基板之间的垂直距离等于所述图像采集部进行所述步骤S3所使用的焦距。

7.根据权利要求6所述的对准方法，其特征在于，所述步骤S3中，控制所述边缘图像采集部和特征标记图像采集部使用同一焦距。

8.根据权利要求7所述的对准方法，其特征在于，所述焦距为0.5-1毫米。

9.根据权利要求8所述的对准方法，其特征在于，所述边缘图像采集部和特征标记图像采集部的焦深均不小于200微米，分辨率均不超过5微米。

10.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述边缘图像采集部和特征标记图像采集部均通过视野平均分隔的方式分别获取所述初始边缘位置信息和所述初始特征标记位置信息。

11.根据权利要求10所述的对准方法，其特征在于，所述初始边缘位置信息包括所述两个基板各自边缘的位置信息，所述初始特征标记位置信息包括所述两个基板各自特征标记的位置信息。

12.根据权利要求11所述的对准方法，其特征在于，所述主控部存储有参照边缘位置信息，所述步骤S4中，所述主控部以所述两个基板中的一个基板的边缘位置信息为基准，参照所述参照边缘位置信息进行所述核对计算以得到所述两个基板中的另一个基板的目标边缘位置信息作为所述校准信息。