[发明专利]一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具及其安装方法有效
| 申请号： | 202110134400.1 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112967962B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 甘志金;贺贤汉;丁懿;韩仙雨;王春虎;王小波 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 避免 硅片 酸腐 转移 造成 擦伤 及其 安装 方法 | ||
1.一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：具体步骤如下：
步骤一、将倒片机上原有的上下两侧的PVC导轨磨平，剩余底部的PVC底板；
步骤二、将两个PFA材质的导轨治具分别安装于两个磨掉PVC导轨的PVC底板上；所述导轨治具包括PFA材质的治具底板(1)，所述治具底板(1)上并排设置有多根PFA材质的长条形导轨(2)，相邻长条形导轨(2)之间形成有一条硅片滚动槽(3)；
步骤三、检查上下两个PFA材质导轨治具的垂直度，固定前整个导轨治具的硅片滚动槽要和腐蚀笼的每个卡槽一一对应；
步骤四、固定导轨治具。
2.根据权利要求1所述的一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：步骤四中采用螺丝固定导轨治具。
3.根据权利要求1所述的一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：所述硅片滚动槽(3)底部为U形的结构。
4.根据权利要求1所述的一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：相邻长条形导轨(2)两端的出入口为圆弧形喇叭口。
5.根据权利要求1所述的一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：于长条形导轨(2)两端外突的治具底板(1)上设置有螺丝安装孔(4)。
6.根据权利要求1所述的一种避免硅片在酸腐蚀后转移时造成擦伤的治具的安装方法，其特征在于：于长条形导轨(2)两端外突的治具底板(1)上分别均匀设置有3个螺丝安装孔(4)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
