[发明专利]增强布局图案的方法

权利要求书

1.一种增强布局图案的方法，其特征在于，包含:

决定包含一碟形图案的一目标布局图案，该碟形图案与制造于一基板上的一开口有关；

定义具有多个顶点的一多边形于该目标布局图案上，其中该多边形的所述多个顶点相符于在该目标布局图案中的该碟形图案的一边界，且其中该多边形作为该开口的一初始布局图案；

决定该目标布局图案的一或更多个其他图案；及

执行该目标布局图案的一迭代修正直到合乎一规范，其中该迭代修正包含：

投影该开口的该初始布局图案至该基板上，并作为该开口的一布局图案的一第一迭代；

决定该开口的该目标布局图案与经投影的该开口的该布局图案的该第一迭代之间的一第一误差；

基于该第一误差，通过移动该多边形的一或多个顶点以执行第一调整该开口的该初始布局图案；

通过基于该一或多个其他图案，进一步移动该多边形的一或多个顶点，来执行第二调整该开口的该初始布局图案，以产生该开口的该布局图案的一下一迭代；及

持续进行该投影、该决定、该第一调整与该第二调整直到合乎该规范，且产生该开口的该布局图案的一最终迭代。