[发明专利]显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板有效
申请号: | 202110118794.1 | 申请日: | 2021-01-28 |
公开(公告)号: | CN112928227B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 张李伟 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,属于显示封装技术领域,封装结构至少包括层叠设置的第一无机层、有机层;第一无机层至少包括层叠设置的两个子层,每个子层包括多个晶粒;两个子层为第一子层和第二子层,第一子层包括多个第一晶粒,第二子层包括多个第二晶粒;第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同。还公开了上述显示面板的封装结构的制备方法。显示面板包括阵列基板、有机发光层和上述封装结构,有机发光层位于阵列基板的一侧,封装结构位于有机发光层远离阵列基板的一侧。本发明可以提高第一无机层的韧性,在韧性增强的同时,还可以维持较高的强度,有利于提升显示面板的封装效果。
技术领域
本发明涉及显示封装技术领域,更具体地,涉及一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板。
背景技术
现今的显示器件中,柔性可挠式显示器由于具有高轻巧性、耐冲击性、可挠取性、可穿戴性与携带方便等特点,俨然已经成为新一代的前瞻显示技术。柔性可挠式显示面板生产过程中,为了防止水氧气渗透到元器件内部导致元器件的失效,需要对显示面板进行封装。目前,薄膜封装(Thin-Film Encapsulation,TFE)是一种广泛应用于柔性显示器制作中的封装方法。薄膜封装技术是利用一层或多层无机材料或无机/有机材料叠加实现阻水阻氧气。
薄膜封装中的匀质的无机阻挡层的抗弯折性能有限,且由于化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)制程的不稳定性,容易在受力时发生应力集中,导致封装失效。由于目前常用的薄膜封装至少有两层无机阻挡层,因此其对薄膜封装的最终封装效果有比较大的影响。
因此,提供一种可以增强薄膜封装无机阻隔层的韧性,进而提升薄膜封装效果的显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,以解决现有技术中薄膜封装中的无机阻挡层的抗弯折性能有限,薄膜封装的韧性不够强,容易影响封装效果的问题。
本发明公开了一种显示面板的封装结构,至少包括层叠设置的第一无机层、有机层;第一无机层至少包括层叠设置的两个子层,每个子层包括多个晶粒;两个子层为第一子层和第二子层,第一子层包括多个第一晶粒,第二子层包括多个第二晶粒;第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同。
基于同一发明构思,本发明还公开了一种显示面板的封装结构的制备方法,该制备方法包括:提供一阵列基板;采用第一沉积速度在阵列基板上沉积第一无机材料,形成第一子层,第一子层包括多个第一晶粒;采用第二沉积速度在第一子层上沉积第二无机材料,形成第二子层,第二子层包括多个第二晶粒;其中,第一沉积速度与第二沉积速度不同,第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同;在第二子层上形成有机层。
基于同一发明构思,本发明还公开了一种显示面板,该显示面板包括阵列基板、有机发光层和上述封装结构,有机发光层位于阵列基板的一侧,封装结构位于有机发光层远离阵列基板的一侧。
与现有技术相比,本发明提供的显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,至少实现了如下的有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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