[发明专利]显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板有效

专利信息
申请号: 202110118794.1 申请日: 2021-01-28
公开(公告)号: CN112928227B 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 张李伟 申请(专利权)人: 厦门天马微电子有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 361101 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 封装 结构 及其 制备 方法
【说明书】:

发明公开了一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,属于显示封装技术领域,封装结构至少包括层叠设置的第一无机层、有机层;第一无机层至少包括层叠设置的两个子层,每个子层包括多个晶粒;两个子层为第一子层和第二子层,第一子层包括多个第一晶粒,第二子层包括多个第二晶粒;第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同。还公开了上述显示面板的封装结构的制备方法。显示面板包括阵列基板、有机发光层和上述封装结构,有机发光层位于阵列基板的一侧,封装结构位于有机发光层远离阵列基板的一侧。本发明可以提高第一无机层的韧性,在韧性增强的同时,还可以维持较高的强度,有利于提升显示面板的封装效果。

技术领域

本发明涉及显示封装技术领域,更具体地,涉及一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板。

背景技术

现今的显示器件中,柔性可挠式显示器由于具有高轻巧性、耐冲击性、可挠取性、可穿戴性与携带方便等特点,俨然已经成为新一代的前瞻显示技术。柔性可挠式显示面板生产过程中,为了防止水氧气渗透到元器件内部导致元器件的失效,需要对显示面板进行封装。目前,薄膜封装(Thin-Film Encapsulation,TFE)是一种广泛应用于柔性显示器制作中的封装方法。薄膜封装技术是利用一层或多层无机材料或无机/有机材料叠加实现阻水阻氧气。

薄膜封装中的匀质的无机阻挡层的抗弯折性能有限,且由于化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)制程的不稳定性,容易在受力时发生应力集中,导致封装失效。由于目前常用的薄膜封装至少有两层无机阻挡层,因此其对薄膜封装的最终封装效果有比较大的影响。

因此,提供一种可以增强薄膜封装无机阻隔层的韧性,进而提升薄膜封装效果的显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此,本发明提供了一种显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,以解决现有技术中薄膜封装中的无机阻挡层的抗弯折性能有限,薄膜封装的韧性不够强,容易影响封装效果的问题。

本发明公开了一种显示面板的封装结构,至少包括层叠设置的第一无机层、有机层;第一无机层至少包括层叠设置的两个子层,每个子层包括多个晶粒;两个子层为第一子层和第二子层,第一子层包括多个第一晶粒,第二子层包括多个第二晶粒;第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同。

基于同一发明构思,本发明还公开了一种显示面板的封装结构的制备方法,该制备方法包括:提供一阵列基板;采用第一沉积速度在阵列基板上沉积第一无机材料,形成第一子层,第一子层包括多个第一晶粒;采用第二沉积速度在第一子层上沉积第二无机材料,形成第二子层,第二子层包括多个第二晶粒;其中,第一沉积速度与第二沉积速度不同,第一晶粒的平均粒径与第二晶粒的平均粒径不同;在第二子层上形成有机层。

基于同一发明构思,本发明还公开了一种显示面板,该显示面板包括阵列基板、有机发光层和上述封装结构,有机发光层位于阵列基板的一侧,封装结构位于有机发光层远离阵列基板的一侧。

与现有技术相比,本发明提供的显示面板的封装结构及其制备方法、显示面板,至少实现了如下的有益效果:

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