[发明专利]半导体装置结构在审
申请号: | 202110105106.8 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN113658950A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 潘冠廷;江国诚;张尚文;蔡庆威;程冠伦;王志豪 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/088 | 分类号: | H01L27/088 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 结构 | ||
本揭示案提供一种半导体装置结构。结构包括第一栅极电极层、第二栅极电极层及设置在第一栅极电极层与第二栅极电极层之间的介电特征。介电特征具有第一表面。结构进一步包括设置在第一栅极电极层上的第一导电层。第一导电层具有第二表面。结构进一步包括设置在第二栅极电极层上的第二导电层。第二导电层具有第三表面,且第一表面、第二表面及第三表面为共平面。结构进一步包括设置在第一导电层上的第三导电层、设置在第二导电层上的第四导电层、以及设置在介电特征的第一表面上的介电层。介电层设置在第三导电层与第四导电层之间。
技术领域
本揭示案实施例是关于半导体装置结构。
背景技术
半导体集成电路(integrated circuit,IC)行业经历了指数级增长。IC材料及设计的技术进步已产生若干代IC,其中每一代比前一代具有更小而更复杂的电路。在IC演进的过程中,功能密度(即,每一晶圆区域互连的装置的数目)通常增大,而几何尺寸(即,可使用制造制程产生的最小组件(或线))通常减小。装置尺寸缩小的过程通常通过提高生产效率且降低相关联成本来提供收益。装置尺寸缩小已增加IC制程的复杂性。
因此,IC制程需进行改良。
发明内容
根据本揭示案的一些实施例,一种半导体装置结构包括第一栅极电极层、与第一栅极电极层相邻的第二栅极电极层、以及设置在第一栅极电极层与第二栅极电极层之间的一介电特征。介电特征具有第一表面。半导体装置结构进一步包括设置在第一栅极电极层上的第一导电层。第一导电层具有第二表面。半导体装置结构进一步包括设置在第二栅极电极层上的第二导电层。第二导电层具有第三表面,且第一表面、第二表面及第三表面为共平面。半导体装置结构进一步包括设置在第一导电层上的第三导电层、设置在第二导电层上的第四导电层、以及设置在介电特征的第一表面上的介电层。介电层设置在第三导电层与第四导电层之间。
附图说明
阅读以下实施方法时搭配附图以清楚理解本揭示案的观点。应注意的是,根据业界的标准做法,各种特征并未按照比例绘制。事实上,为了能清楚地讨论,各种特征的尺寸可能任意地放大或缩小。
图1至图18为根据一些实施例绘示制造半导体装置结构的不同制程阶段的等角示意图;
图19及图20为根据一些实施例绘示制造半导体装置结构的不同阶段沿图18的线A-A的截面侧视图;
图21为根据一些实施例绘示图20的半导体装置结构的俯视图;
图22A至图22C为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的其中一个阶段沿图21的线A-A、线B-B及线C-C的截面侧视图;
图23A至图23D为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的其中一个阶段沿图21的线D-D、线A-A、线B-B及线C-C的截面侧视图;
图24A至图24D为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的其中一个阶段沿图21的线D-D、线A-A、线B-B及线C-C的截面侧视图;
图25A至图25D为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的其中一个阶段沿图21的线D-D、线A-A、线B-B及线C-C的截面侧视图;
图26A至图26D为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的其中一个阶段沿图21的线D-D、线A-A、线B-B及线C-C的截面侧视图;
图27A至图31A为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的不同阶段沿图21的线A-A的截面侧视图;
图27B至图31B为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的不同阶段沿图21的线B-B的截面侧视图;
图27C至图31C为根据一些实施例分别绘示制造半导体装置结构的不同阶段沿图21的线C-C的截面侧视图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的