[发明专利]使用旋转夹盘中内置的光源的基板处理装置

权利要求书

1.一种使用旋转夹盘中内置的光源的基板处理装置，所述基板处理装置包括：

旋转夹盘，其在支撑基板的同时旋转；

加热模块，其内置在所述旋转夹盘中并通过光辐射方法对通过所述旋转夹盘支撑并旋转的所述基板的下表面进行均匀的加热；

透光板，其耦合至所述旋转夹盘并允许内置在所述旋转夹盘中的所述加热模块朝向所述基板发射的光从其中通过；以及

控制模块，其控制所述加热模块辐照到所述基板的下表面上的光量以控制所述基板的温度。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述旋转夹盘包括：

外部主体，在其上形成有用于支撑所述基板的基板支撑件；以及

内部主体，其凹陷到所述外部主体之下以提供内置所述加热模块的空间，并且在中心区域形成有孔。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述加热模块包括：

光源基板，其设置在所述外部主体与所述内部主体之间的高度差所形成的内部空间中，不与所述旋转夹盘的所述内部主体直接接触；

光源单元，其包括多个LED组，它们以同心圆形状从面对所述基板的、所述光源基板的两个表面中的上表面的中心区域布置到边缘区域并且彼此独立地被驱动；

冷却单元，其上表面耦合至所述光源基板的下表面并且具有形成在其中的冷却流路，冷却水流过所述冷却流路以防止所述光源基板过热；以及

加热模块支撑件，其被构造为对耦合至所述冷却单元的所述光源基板进行支撑，同时在耦合至所述冷却单元的下表面的状态下穿过形成在构成所述旋转夹盘的所述内部主体中的所述孔。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，所述控制模块控制要进行操作的构成所述光源单元的多个所述LED组中的一个或多个，并且控制操作中的所述LED组的发光强度。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，构成所述加热模块的所述光源基板和所述冷却单元由具有导热性的材料形成。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其中，构成所述加热模块的所述光源基板的下表面和所述冷却单元的上表面在没有分隔间隙的情况下彼此粘接。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述光源基板的下表面的面积和所述冷却单元的上表面的面积相同。