[发明专利]一种薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种薄膜压力传感器，可用于生物管道压力检测，其特征在于，所述薄膜压力传感器包括：

电路层，所述电路层包括一个或多个传感元件；

功能膜层；

结合层；

其中，所述电路层与所述功能膜层通过所述结合层贴合；

所述结合层设置有第一通孔，以使所述电路层和所述功能膜层之间形成空腔；所述第一通孔与所述薄膜压力传感器的外界连通；

所述第一通孔包括第二排气通道和一个或多个空穴，所述电路层设置有排气孔，所述排气孔连通外接设备；

所述空穴与所述传感元件对应设置，所述第二排气通道的一端与所述空穴分别连通，另一端与所述排气孔连通；

所述薄膜压力传感器还包括连接件，所述连接件贴敷于所述薄膜压力传感器的背面；所述连接件设置有第二通孔，所述第二通孔与所述排气孔对应；

所述薄膜压力传感器还包括第一排气通道，所述第一排气通道的一端经所述第二通孔与所述排气孔密封连接，另一端用于与外接设备密封连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层包括离子膜和第一薄膜，所述第一薄膜由生物相容性材料制成。

3.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述电路层还包括第二薄膜，所述传感元件设置于所述第二薄膜。

4.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述传感元件通过信号线与外接设备连接。

5.根据权利要求4所述的薄膜压力传感器，其特征在于，各所述传感元件均通过单独的所述信号线与外接设备连接，或者；

多个所述传感元件阵列分布，且每行的所述传感元件串联后通过所述信号线与外接设备连接。

6.根据权利要求5所述的薄膜压力传感器，其特征在于，多个所述传感元件阵列分布时，相邻所述传感元件的阵列间距为5cm～15cm。

7.根据权利要求4所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述薄膜压力传感器还包括第一排气通道，所述第一排气通道与外接设备密封连接；

所述结合层包括第二排气通道，所述第一排气通道与所述第二排气通道连通，所述信号线设置在所述第一排气通道和所述第二排气通道内。

8.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层的厚度为50um，所述结合层的厚度为30um，所述电路层的厚度为50um，所述连接件的厚度为30um。

9.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层为悬臂式结构，且所述功能膜层的外侧设置防水层。

10.根据权利要求9所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层与所述传感元件的对应的位置设置有悬臂单元；

在具有预设形状的所述功能膜层上进行切割形成所述悬臂单元，以使所述功能膜层形成悬臂式结构。

11.根据权利要求10所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层的未切割弦长L的长度为1mm～10mm。

12.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层为悬臂梁式结构，且所述功能膜层的外侧设置防水层。

13.根据权利要求12所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述功能膜层与所述传感元件的对应的位置设置有悬臂梁组件；

在具有预设形状的所述功能膜层上进行切割形成所述悬臂梁组件，以使所述功能膜层形成悬臂梁式结构。

14.根据权利要求13所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述悬臂梁组件的悬臂宽度W为1mm～10mm。