[发明专利]一种大处理量微波等离子体反应腔

权利要求书

1.一种大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，包括上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔、波导和石英管；上圆柱耦合腔固定连通在下圆柱耦合腔的上端；波导固定连通在下圆柱耦合腔的侧壁；石英管竖向贯穿上圆柱耦合腔和下圆柱耦合腔；下圆柱耦合腔的下端固定有与石英管对应的入口接头，入口接头具有均与石英管相连通的点火装置入口和进气孔；所述波导的高度与下圆柱耦合腔的高度相同；在下圆柱耦合腔的径向方向上，波导的宽度小于或等于下圆柱耦合腔的直径；下圆柱耦合腔的下端具有与石英管适配的贯穿孔，入口接头上端具有伸入贯穿孔并抵接至石英管下端的凸台。

2.根据权利要求1所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔和石英管同轴设置。

3.根据权利要求1所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述进气孔为多个，并对称设置在点火装置入口的两侧。

4.根据权利要求1或3所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述点火装置入口与石英管同轴。

5.根据权利要求1所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述波导为矩形波导，波导的中心线与下圆柱耦合腔的中心线垂直。