[发明专利]一种共轭苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种共轭苯并咪唑缓蚀剂，其特征在于，所述共轭苯并咪唑缓蚀剂具有式(I)分子结构：

式中，R为C1～C12的烷基直链，R’为甲基，x取值为0～2。

2.一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备吡啶-苯并咪唑(BMZ-Pd-1H)

在二甲苯/N-甲基吡咯烷酮的混合溶剂中，1,2,4,5-四氨基苯、邻苯二胺与3,5-吡啶二甲酸在氮气环境下酰化反应，进一步升温进行环化反应，经分离纯化、干燥得到BMZ-Pd-1H；

(2)制备BMZ-Pd-1R

BMZ-Pd-1H与碘甲烷在有相转移催化剂的碱性溶液中反应，经萃取、干燥得到BMZ-Pd-1R；

(3)季铵化反应制备共轭苯并咪唑缓蚀剂(BQA-Pd)

在甲苯溶剂中，BMZ-Pd-1R与溴代烷烃进行季铵化反应，制备BQA-Pd。

3.根据权利要求2所述的一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述混合溶剂中二甲苯和N-甲基吡咯烷酮的体积比为2:1。

4.根据权利要求2所述的一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述1,2,4,5-四氨基苯、邻苯二胺、3,5-吡啶二甲酸的投料摩尔比为1.5:2:2。

5.根据权利要求2所述的一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述相转移催化剂四丁基溴化铵。

6.根据权利要求2所述的一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述碱性溶液为20～30wt％的氢氧化钠乙醇溶液。

7.根据权利要求2所述的一种共轭苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述溴代烷烃为碳原子数为4～12的正溴代烷。