[发明专利]一种等离子体刻蚀机及其刻蚀方法

权利要求书

1.一种等离子体刻蚀机，包括机壳（1），其特征在于：所述机壳（1）顶部固定连接有电离箱（2），所述电离箱（2）侧面固定连通有第一进气管（3），所述机壳（1）顶部位于电离箱（2）内部固定连通有第二进气管（4），所述机壳（1）侧面铰接有进料门（5），所述机壳（1）内壁固定连接有固定台（6），所述固定台（6）顶部设置有晶圆架（7），所述晶圆架（7）内壁固定连接有晶圆，所述机壳（1）两侧内壁均连接有带动所述晶圆架（7）翻转的翻转机构，所述翻转机构包括两个电动推杆（8），所述电动推杆（8）固定连接在机壳（1）的内壁上，所述机壳（1）两侧内壁均贯穿且滑动连接有拉动板（9），所述拉动板（9）端部连接有复位机构，所述拉动板（9）另一端开设有圆形槽，所述圆形槽内壁滑动连接有圆盘（10），所述圆盘（10）侧面固定连接有翻转轴（11），所述翻转轴（11）表面固定连接有间断齿轮（12），所述间断齿轮（12）侧面固定连接有第一板（13），所述翻转轴（11）表面转动连接有第一支撑板（14），所述第一支撑板（14）侧面固定连接有第二板（15），所述第一支撑板（14）两侧分别固定连接有第一L型板（16）和第三板（17），所述翻转轴（11）表面分别固定连接有偏转板（18）和两个第一支板（19），所述第一L型板（16）顶部和偏转板（18）底部相接触，所述第三板（17）端部固定连接有圆形套（20），所述圆形套（20）表面固定连接有L型杆（21），所述机壳（1）两侧内壁均开设有第一槽口，所述L型杆（21）端部滑动连接在第一槽口的内壁上，所述圆形套（20）内壁和电动推杆（8）伸缩端相配合，所述晶圆架（7）两侧均开设有加持槽（22），所述翻转轴（11）端部插接在加持槽（22）的内壁上，所述机壳（1）内壁两侧均固定连接有两个L型支撑板（23），相对两个L型支撑板（23）顶部共同固定连接有支撑架（24），所述支撑架（24）侧面开设有贯通的长槽，所述翻转轴（11）滑动连接在长槽的内壁上，所述支撑架（24）侧面开设有两侧T型槽，所述T型槽内壁滑动连接有矩形壳（25），所述矩形壳（25）内壁滑动连接有L型压板（26），所述L型压板（26）和矩形壳（25）内壁共同固定连接有第一弹簧（27），所述L型压板（26）底部和第一支板（19）的顶部相接触，所述L型压板（26）侧面固定连接有L型顶板（28），所述L型顶板（28）端部呈斜面，所述L型支撑板（23）侧面固定连接有T型齿板（29），所述T型齿板（29）和间断齿轮（12）相配合，所述固定台（6）两侧均连接有对所述晶圆架（7）限位的限位机构，所述限位机构包括横向压板（30），所述横向压板（30）固定连接在电动推杆（8）伸缩端的侧面，所述固定台（6）两侧均固定连接有L型延伸板（31），所述L型延伸板（31）顶部开设有两个第一滑槽，所述第一滑槽内壁滑动连接有挤压块（32），所述挤压块（32）侧面和L型延伸板（31）共同固定连接有第二弹簧（33），所述挤压块（32）侧面固定连接有异型杆（34），所述异型杆（34）端部固定连接有限位板（35），所述晶圆架（7）两侧均开设有限位槽，所述限位板（35）滑动连接在限位槽的内壁上，所述L型延伸板（31）顶部转动连接有两个滚轮（36），所述挤压块（32）侧面固定连接有第一绳索（37），所述第一绳索（37）绕过滚轮（36）表面且贯穿L型延伸板（31），所述第一绳索（37）端部固定连接有连接板（38），所述连接板（38）顶部和横向压板（30）底部相接触。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体刻蚀机，其特征在于：所述限位板（35）侧面固定连接有减震弹簧（39），所述减震弹簧（39）另一端固定连接有减震垫（40），所述减震垫（40）滑动连接在限位槽的内壁上。