[发明专利]一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台

权利要求书

1.一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台，其特征在于，所述多节MEMS探针包括上部探针（1-4-1）、中部探针（1-4-2）和下部探针（1-4-3），所述上部探针（1-4-1）的底部设置有孔，所述下部探针（1-4-3）的顶部设置有孔，中部探针（1-4-2）分别插入上部探针（1-4-1）的孔和下部探针（1-4-3）的孔中，形成两套孔轴配合结构；

所述多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台包括固定台（4-8-1）和装载台（4-8-2），所述固定台（4-8-1）和装载台（4-8-2）之间通过转轴（4-8-3）连接；

所述固定台（4-8-1）包括下部承载台（4-8-1-1）和上部参考台（4-8-1-2），所述下部承载台（4-8-1-1）一个侧面要宽于上部参考台（4-8-1-2），在上部参考台（4-8-1-2）的左侧面，上部参考台（4-8-1-2）通过转轴（4-8-3）与装载台（4-8-2）连接，所述上部参考台（4-8-1-2）与装载台（4-8-2）厚度相同，在上部参考台（4-8-1-2）与装载台（4-8-2）折叠后，装载台（4-8-2）的上表面与上部参考台（4-8-1-2）重合，在上部参考台（4-8-1-2）与装载台（4-8-2）打开后，装载台（4-8-2）的下表面由下部承载台（4-8-1-1）依托，装载台（4-8-2）的上表面与上部参考台（4-8-1-2）位于同一水平面；

所述装载台（4-8-2）为框状结构，装载台（4-8-2）的侧面设置有挤压结构（4-8-4），装载台（4-8-2）相对上部参考台（4-8-1-2）的另一侧，设置有竖直调整支架（4-8-5），所述竖直调整支架（4-8-5）的端部设置有升降板（4-8-6），所述升降板（4-8-6）能够沿竖直调整支架（4-8-5）上下调整；被测件（4-5）的待测面与装载台（4-8-2）上表面位于同一水平面，被测件（4-5）的另一端面接触升降板（4-8-6），并与升降板（4-8-6）表面涂覆的粘性材料粘贴；

所述被测件（4-5）的待测面反光镀膜，装载台（4-8-2）的上表面吸光镀膜。

2.应用于权利要求1所述一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台的一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤a、在被测件（4-5）的待测面反光镀膜，在装载台（4-8-2）的上表面吸光镀膜，所述被测件（4-5）为上部探针（1-4-1）、中部探针（1-4-2）或下部探针（1-4-3）；

步骤b、在上部参考台（4-8-1-2）与装载台（4-8-2）折叠后，被测件（4-5）待测面向下，贴边沿摆放到装载台（4-8-2）框状结构中；

步骤c、调节测试环境温度到常温或裸芯工作环境温度，使上部探针（1-4-1）或下部探针（1-4-3）完成热胀冷缩或使中部探针（1-4-2）完成热缩冷涨；

步骤d、调整挤压结构（4-8-4），将被测件（4-5）用挤压结构（4-8-4）固定在装载台（4-8-2）框状结构中，避免升降板（4-8-6）挤压被测件（4-5）时使被测件（4-5）晃动，造成被测件（4-5）参数测试不准确；

步骤e、调整升降板（4-8-6），使升降板（4-8-6）挤压在被测件（4-5）上，升降板（4-8-6）表面涂覆的粘性材料粘贴住被测件（4-5），并固定升降板（4-8-6）；

步骤f、调整挤压结构（4-8-4），将被测件（4-5）与挤压结构（4-8-4）分离，避免挤压结构（4-8-4）挤压被测件（4-5）时使被测件（4-5）发生形变，造成被测件（4-5）参数测试不准确；

步骤g、将上部参考台（4-8-1-2）与装载台（4-8-2）打开，此时，装载台（4-8-2）的下表面由下部承载台（4-8-1-1）依托，装载台（4-8-2）的上表面与上部参考台（4-8-1-2）位于同一水平面。