[发明专利]微气流传感器及系统

说明书

本申请涉及微气流传感器及系统，具体而言，涉及一种气体流速检测领域；本申请提供一种微气流传感器包括：基底、栅极、源极、漏极、容器、第一石墨烯层、第二石墨烯层、通气管和连接部；当该通气管有微小气体通过时，微小气体通过通气管的出气部作用在该容器内部的第二石墨烯层上，使得该第二石墨烯层发生运动，进而使得该第二石墨烯层发生形变，使得该第二石墨烯层的曲率发生改变，进而引起该第二石墨烯层上的载流子密度发生改变，通过该在该微气流传感器通入输入电流，由于该第二石墨烯层上的载流子密度发生改变，进而使得该微气流传感器的输出电信号发生相应的改变，根据输出电信号与待测微气流流速的对应关系，得到待测微气流流速。

技术领域

本申请涉及气体流速检测领域，具体而言，涉及一种微气流传感器及系统。

背景技术

众所周知，微弱气流检测是现代生产控制领域的一大难点。目前已知的国内生产检验领域，微弱气体压力检测是较弱领域。

现有技术中，化工厂通常通过气体流量计进行气体流量检测。气体流量计通常需要进行二次控制扩展才可以使用。

但是，气体流量计结构复杂，成本高昂，使用和维护都需要具有经验的专业技术人员，并且现有技术中的气体流量计周围环境和操作动作带来的噪音信号也非常高，会对气体流量计对微经常影响到正常测试结果形成误差，进而对微气流的检测产生影响。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种微气流传感器及系统，以解决现有技术中气体流量计结构复杂，成本高昂，使用和维护都需要具有经验的专业技术人员，并且现有技术中的气体流量计周围环境和操作动作带来的噪音信号也非常高，会对气体流量计对微经常影响到正常测试结果形成误差，进而对微气流的检测产生影响的问题。

为实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请提供一种微气流传感器，微气流传感器包括：基底、栅极、源极、漏极、容器、第一石墨烯层、第二石墨烯层、通气管和连接部；基底的一个侧面的中央位置设置有凹槽，栅极设置在凹槽内部，第一石墨烯层覆盖设置在凹槽开口位置，源极和漏极分别设置在基底设置第一石墨烯层的两端，容器包括相对设置的第一开口端和第二开口端，容器设置在第一石墨烯层远离基底的一侧，且容器的第一开口端覆盖第一石墨烯层，容器的第二开口端上设置有通气管，且通气管与水平面平行设置，通气管靠近源极的一端开口有出气部，第二石墨烯层的一端与第一石墨烯层靠近漏极的一端连接，第二石墨烯层的另一端通过连接部与通气管的出气部连接。

可选地，该容器靠近源极的平面上设置有进气孔。

可选地，该微气流传感器还包括支杆，支杆的一端垂直于容器靠近漏极的内壁设置。

可选地，该支杆的另一端设置为具有弧度的平面。

可选地，该微气流传感器还包括胶体弧形头，胶体弧形头套设在支杆远离容器的内壁的一侧。

可选地，该通气管为回形杆。

可选地，该基底的材料为硅或者锗。

第二方面，本申请提供一种微气流传感系统，微气流传感系统包括：电源、电信号表、单片机和第一方面任意一项的微气流传感器，电源与电信号表分别与微气流传感器电连接，单片机与电信号表电连接，用于获取电信号表检测得到的微气流传感器的输出电信号，并根据输出电信号与待测微气流流速的对应关系，得到待测微气流流速。

本发明的有益效果是：