[发明专利]微气流传感器及系统

权利要求书

1.一种微气流传感器，其特征在于，所述微气流传感器包括：基底、栅极、源极、漏极、容器、第一石墨烯层、第二石墨烯层、通气管和连接部；所述基底的一个侧面的中央位置设置有凹槽，所述栅极设置在所述凹槽内部，所述第一石墨烯层覆盖设置在所述凹槽开口位置，所述源极和所述漏极分别设置在所述基底设置所述第一石墨烯层的两端，所述容器包括相对设置的第一开口端和第二开口端，所述容器设置在所述第一石墨烯层远离基底的一侧，且所述容器的第一开口端覆盖所述第一石墨烯层，所述容器的第二开口端上设置有所述通气管，且所述通气管与水平面平行设置，所述通气管靠近所述源极的一端开口有出气部，所述第二石墨烯层的一端与所述第一石墨烯层靠近所述漏极的一端连接，所述第二石墨烯层的另一端通过所述连接部与所述通气管的出气部连接。

2.根据权利要求1所述的微气流传感器，其特征在于，所述容器靠近所述源极的平面上设置有进气孔。

3.根据权利要求1所述的微气流传感器，其特征在于，所述微气流传感器还包括支杆，所述支杆的一端垂直于所述容器靠近所述漏极的内壁设置。

4.根据权利要求3所述的微气流传感器，其特征在于，所述支杆的另一端设置为具有弧度的平面。

5.根据权利要求4所述的微气流传感器，其特征在于，所述微气流传感器还包括胶体弧形头，所述胶体弧形头套设在所述支杆远离所述容器的内壁的一侧。

6.根据权利要求1所述的微气流传感器，其特征在于，所述通气管为回形杆。

7.根据权利要求1所述的微气流传感器，其特征在于，所述基底的材料为硅或者锗。

8.一种微气流传感系统，其特征在于，所述微气流传感系统包括：电源、电信号表、单片机和权利要求1-7任意一项所述的微气流传感器，所述电源与所述电信号表分别与所述微气流传感器电连接，所述单片机与所述电信号表电连接，用于获取所述电信号表检测得到的所述微气流传感器的输出电信号，并根据所述输出电信号与待测微气流流速的对应关系，得到待测微气流流速。