[发明专利]蒸镀装置

说明书

本公开提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：储存罐和喷嘴，储存罐包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；喷嘴设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。本公开提供的蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

对于蒸镀工艺而言，作为蒸发材料的蒸镀装置是其核心。现目前主流的蒸镀装置主要有坩埚及加热系统沟通。由于蒸镀膜层厚度极薄以及膜层均匀性的高要求，需要从蒸镀装置蒸出材料的速率尽可能稳定，且当出现由于切换监控速率或材料消耗导致的速率波动能够快速恢复。而在传统的蒸镀装置中，热量的动态调节能力始终存在一个瓶颈。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。

根据本公开的一个方面，提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：

储存罐，包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；

喷嘴，设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。

在本公开的一种示例性实施例中，所述喷嘴包括第二电加热层与第二绝缘层，所述第二绝缘层包覆所述第二电加热层。

在本公开的一种示例性实施例中，所述蒸镀装置还包括：

冷却套，套设在所述储存罐上，所述冷却套被配置为对所述储存罐进行冷却。

在本公开的一种示例性实施例中，所述罐体设有第一导电孔，所述第一导电孔露出所述第一电加热层；所述喷嘴设有第二导电孔，所述第二导电孔露出所述第二电加热层。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套上设有第一接线端与第二接线端，所述第一接线端与所述第一导电孔处露出的所述第一电加热层抵接，所述第二接线端与所述第二导电孔处露出的所述第二电加热层抵接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一接线端与所述第二接线端为弹性接线端。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套包括冷却套本体和设于所述冷却套本体上的第二开口，所述罐体能够通过所述第二开口设于所述冷却套本体形成的腔体中；所述冷却套本体中设有冷却回路，所述冷却回路用于冷却液流动。

在本公开的一种示例性实施例中，所述冷却套本体的材料包括：金属材料。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一电加热层的材料包括：热解石墨。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一绝缘层的材料包括：陶瓷。