[发明专利]蒸镀装置在审
申请号: | 202110022090.4 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN112877651A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 刘金彪;肖昂;李海博;罗楠;徐天宇;黄秦霏;胡斌;加新星;晋亚杰;李靖;刘文豪;姬磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/54 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 王辉;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
储存罐,包括罐体和设于所述罐体上的第一开口,所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层,所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层;所述储存罐被配置储存蒸镀材料;
喷嘴,设于所述储存罐的开口上,所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述喷嘴包括第二电加热层与第二绝缘层,所述第二绝缘层包覆所述第二电加热层。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置还包括:
冷却套,套设在所述储存罐上,所述冷却套被配置为对所述储存罐进行冷却。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置,其特征在于,所述罐体设有第一导电孔,所述第一导电孔露出所述第一电加热层;所述喷嘴设有第二导电孔,所述第二导电孔露出所述第二电加热层。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置,其特征在于,所述冷却套上设有第一接线端与第二接线端,所述第一接线端与所述第一导电孔处露出的所述第一电加热层抵接,所述第二接线端与所述第二导电孔处露出的所述第二电加热层抵接。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置,其特征在于,所述第一接线端与所述第二接线端为弹性接线端。
7.根据权利要求3所述的蒸镀装置,其特征在于,所述冷却套包括冷却套本体和设于所述冷却套本体上的第二开口,所述罐体能够通过所述第二开口设于所述冷却套本体形成的腔体中;所述冷却套本体中设有冷却回路,所述冷却回路用于冷却液流动。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于,所述冷却套本体的材料包括:金属材料。
9.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述第一电加热层的材料包括:热解石墨。
10.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述第一绝缘层的材料包括:陶瓷。
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