[发明专利]一种片式薄膜电阻器及其制备方法

权利要求书

1.一种片式薄膜电阻器，其特征在于，包括：绝缘基板、薄膜电阻、面电极；

所述面电极和所述薄膜电阻均设在所述绝缘基板上，且所述薄膜电阻成型于所述面电极的中部；所述薄膜电阻将所述面电极隔离成第一电极和第二电极；

所述薄膜电阻包括第一连接部、第二连接部、第三连接部；

所述第一连接部的一端设于所述第一电极和所述第二电极的同一侧边缘上，所述第三连接部的一端设于所述第一电极和所述第二电极的同另一侧边缘上，所述第二连接部分别与所述第一连接部的另一端、所述第三连接部的另一端连接。

2.如权利要求1所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第二连接部的长度大于所述第一连接部与所述第三连接部之间的线间距。

3.如权利要求2所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第二连接部包括第一连接段；

所述第一连接段的一端与所述第一连接部的另一端连接；所述第一连接段的另一端与所述第三连接部的另一端连接；

所述第一连接段与所述第一连接部所成的夹角小于180°；所述第一连接段与所述第三连接部所成的夹角小于180°。

4.如权利要求3所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第一连接部与所述第三连接部平行。

5.如权利要求2所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第二连接部包括第一连接段、第二连接段、第三连接段；

所述第一连接段的一端与所述第一连接部的另一端连接；所述第一连接段的另一端与所述第二连接段的一端连接；

所述第二连接段的另一端与所述第三连接段的一端连接，所述第三连接段的另一端与所述第三连接部的另一端连接；

所述第一连接段与所述第一连接部所成的夹角小于或等于90°；所述第一连接段与所述第二连接段所成的夹角小于或等于90°；

所述第二连接段与所述第三连接段所成的夹角小于或等于90°；所述第三连接段与所述第三连接部所成的夹角小于或等于90°。

6.如权利要求5所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第一连接部与所述第三连接部设于同一条直线上；所述第一连接部和所述第三连接部分别与所述第二连接段平行。

7.如权利要求2所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第二连接部包括第一连接段、第二连接段、第三连接段；

所述第一连接段的一端与所述第一连接部的另一端连接；所述第一连接段的另一端与所述第二连接段的一端连接；

所述第二连接段的另一端与所述第三连接段的一端连接，所述第三连接段的另一端与所述第三连接部的另一端连接；

所述第一连接段与所述第一连接部所成的夹角大于90°；所述第一连接段与所述第二连接段所成的夹角大于90°；

所述第二连接段与所述第三连接段所成的夹角大于90°；所述第三连接段与所述第三连接部所成的夹角大于90°。

8.如权利要求7所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第一连接部与所述第三连接部设于同一条直线上；所述第一连接部和所述第三连接部分别与所述第二连接段平行。

9.如权利要求1-8任意一项所述的片式薄膜电阻器，其特征在于，所述第一连接部垂直设于所述第一电极和所述第二电极的同一侧边缘上；所述第三连接部垂直设于所述第一电极和所述第二电极的同另一侧边缘上。

10.一种片式薄膜电阻器的制备方法，其特征在于，包括：

提供绝缘基板，所述绝缘基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面相对设置；

在所述第一表面上设有第一掩膜，通过沉积技术沉积一层电阻膜层后去掉所述第一掩膜，获得薄膜电阻层；

在所述薄膜电阻层的表面上设有第二掩膜，通过化学沉积技术沉积一层电极膜层后去掉所述第二掩膜，获得面电极层。