[发明专利]一种3dB光波功率分束器

权利要求书

1.一种3dB光波功率分束器，包括衬底、设置在所述衬底上的平板形光波导层、以及设置所述平板形光波导层表面的包层；其特征在于，所述平板形光波导层包括光波导层主体、设置在所述光波导层主体一侧的条形输入端口、以及两个设置在所述光波导层主体另一侧的条形输出端口；

所述光波导层主体设置有半透半反射镜和全反射镜，所述全反射镜为所述光波导层主体的一个侧面，所述半透半反射镜设置在所述光波导层主体内部；所述半透半反射镜用于把入射光束分割为反射光束和透射光束，所述反射光束射向其中一个条形输出端口，所述全反射镜用于把所述透射光束全部发射向另一个条形输出端口；所述反射光束和透射光束的光功率相等。

2.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述半透半反射镜和全反射镜均为曲面镜，所述曲面镜为凹面镜。

3.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述半透半反射镜包括开设在所述光波导层主体上的凹槽，所述凹槽为空槽，或者所述凹槽内填充有填充材料，且所述填充材料的折射率比所述光波导层主体的材料的折射率低。

4.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，作为全反射镜的侧面上包覆的包层厚度不小于光波的全反射透射深度。

5.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述平板形光波导层为硅、磷化铟、锑、砷化镓或砷化铟；所述包层为二氧化硅。

6.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述条形输入端口和条形输出端口均为矩型条状，且条形输入端口和条形输出端口的横截面尺寸相同。

7.根据权利要求6所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述条形输入端口和条形输出端口的宽度和厚度满足条件：max（w，2h）λ2w，其中，w是宽度，h是厚度，λ是工作光波的波长。

8.根据权利要求2所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述半透半反射镜和全反射镜的位置和尺寸满足以下条件：

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其中，是入射光波的光腰半径, 是出射光波的光腰半径，是条形输入端口的根部到反射点的入射距离，是反射点到相应条形输出端口的根部的出射距离，是曲面镜的焦距，是入射光波的瑞利距离，是曲面镜的半径，是入射光波的入射角。

9.根据权利要求1所述的3dB光波功率分束器，其特征在于，所述条形输出端口的中轴线与所述条形输出端口的中轴线垂直。