[发明专利]输送装置

说明书

本发明公开了一种输送装置，包括夹持臂以及平衡感测器。平衡感测器设置于夹持臂上。平衡感测器包括本体、导电线路以及滑动导体。本体具有容置槽。导电线路设置于容置槽的侧壁上。滑动导体设置于容置槽内，其中滑动导体设置以接触或分离于导电线路使导电线路产生闭路或开路。平衡感测器根据导电线路的开路或闭路判别夹持臂处于平衡状态或倾斜状态，以达到感应夹持臂是否倾斜的功能。借此，本发明的输送装置，可以有效且准确地即时反应夹持臂的状况。

技术领域

本发明涉及一种输送装置，特别是涉及运送半导体晶圆的输送装置。

背景技术

半导体工艺所使用的机台，其机械手臂极为精密，而且对于运输晶圆时的稳定度要求极高。若在传输过程中机械手臂稍微偏离或是作动不顺(例如是振动)，则会造成晶圆刮伤甚至破片，进而导致企业蒙受巨大的经济损失。

此外，厂商也相当要求机台的运输效率，若机械手臂运输晶圆的速度慢，生产产品的效率会大打折扣，进而延宕产品的交付时程，因此影响客户的订单而降低企业的竞争力。

因此，如何提出一种可解决上述问题的输送装置，是目前业界亟欲投入研发资源解决的问题之一。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种可有解决上述问题的输送装置，其包括夹持臂以及平衡感测器。平衡感测器设置于夹持臂上。平衡感测器包括本体、导电线路以及滑动导体。本体具有容置槽。导电线路设置于容置槽的侧壁上。滑动导体位于容置槽内，其中滑动导体设置以接触或分离于导电线路使导电线路产生闭路或开路，且平衡感测器根据导电线路的开路或闭路判别夹持臂处于平衡状态或倾斜状态。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括座体，其中座体连接夹持臂，且座体用以沿着水平方向移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括座体，其中夹持臂可移动地连接座体并用以沿着铅直方向相对于座体移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括升降体，其中升降体位于座体上并连接夹持臂，且升降体用以带动夹持臂移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，导电线路包括电性分离的二线圈结构。

在本发明的一个或多个实施方式中，其中侧壁为环状，二线圈结构相互平行且环设于容置槽的侧壁。

在本发明的一个或多个实施方式中，滑动导体为液态金属。

在本发明的一个或多个实施方式中，平衡感测器还包括透明顶盖，且透明顶盖覆盖容置槽。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括控制器，其中控制器电性连接夹持臂及平衡感测器，控制器根据导电线路所产生的闭路以控制夹持臂停止。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括控制器及警示器，其中控制器电性连接平衡感测器及警示器，控制器根据导电线路所产生的闭路以控制警示器发出警报。

综上所述，本发明的输送装置具有夹持臂及平衡感测器，且平衡感测器是利用容置槽中滑动导体的位置来影响导电线路的开路与断路，导电线路的开路与断路代表夹持臂处于倾斜状态或平衡状态，因此可以有效且准确地即时反应夹持臂的状况。除此之外，利用上述的平衡感测器可以进一步控制夹持臂，当平衡感测器侦测到夹持臂处于倾斜状态时，可以立即停止夹持臂，进而避免夹持臂倾斜而以错误的角度接触待输送物体。

以上所述仅是用以阐述本发明所欲解决的问题、解决问题的技术手段、及其产生的功效等等，本发明的具体细节将在下文的实施方式及相关附图中详细介绍。

附图说明

为达成上述的优点和特征，将参考实施方式对上述简要描述的原理进行更具体的阐释，而具体实施方式被展现在附图中。这些附图仅例示性地描述本发明，因此不限制发明的范围。通过附图，将清楚解释本发明的原理，且附加的特征和细节将被完整描述，其中：