[发明专利]一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法

说明书

本发明公开了一种小型研磨搅拌桶，包括研磨捅，所述研磨捅顶部设置有供液槽，所述供液槽的液体出口连接至研磨捅内；所述研磨捅内还设置有进水管路；所述研磨捅内还设置有搅拌桨，所述搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的0.5‑0.8倍；所述搅拌桨通过可调节搅拌速度的减速电机带动旋转；工作原理是通过加大研磨桶内的搅拌桨，使之作用范围更大，同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅，保持研磨液不沉淀；可以提高研磨桶搅拌效率，避免研磨液不均匀带来的机械伤不良。

技术领域

本发明涉及一种搅拌桶，具体涉及一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法。

背景技术

硅片研磨加工过程中，易出现研磨液沉淀的现象，导致加工过程中研磨液不均匀，易产生机械伤报废；且研磨液沉淀也会缩短研磨液的寿命，不利于成本控制。

原有研磨液搅拌桶示意图如图1所示，研磨粉和水加入研磨桶中依靠搅拌桨搅拌均匀后，供给研磨机加工，搅拌期间研磨桶底部存在研磨液的固体沉淀物，导致桶内的研磨液不均匀，供给到研磨机上时，会产生机械伤，影响良率。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种小型研磨搅拌桶及提高小型研磨搅拌桶使用效率的方法，可以提高研磨桶搅拌效率，避免研磨液不均匀带来的机械伤不良。工作原理是通过加大研磨桶内的搅拌桨，使之作用范围更大，同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅，保持研磨液不沉淀。

本发明的技术方案是：一种小型研磨搅拌桶，包括研磨捅，所述研磨捅顶部设置有供液槽，所述供液槽的液体出口连接至研磨捅内；

所述研磨捅内还设置有进水管路；

所述研磨捅内还设置有搅拌桨，所述搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的 0.5-0.8倍；

所述搅拌桨通过可调节搅拌速度的减速电机带动旋转。

进一步的，所述供液槽的液体出口处设置有过滤器。将液体过滤后导入研磨捅内，保证液体的纯净度。

进一步的，所述研磨桶半径34-36厘米，搅拌叶尺寸半径长20-24厘米。

进一步的，所述研磨桶半径35厘米，搅拌叶尺寸半径长22厘米。

进一步的，所述减速电机为东方马达电机4GV12.5B。此型号减速电机可控制搅拌桨搅拌速度，避免搅拌过程中，研磨液飞溅。

进一步的，所述进水管路上设置有开关阀。

本发明还提供一种提高所述的小型研磨搅拌桶使用效率的方法，将搅拌桨的搅拌叶尺寸半径长为研磨捅内半径的0.5-0.8倍。

进一步的，搅拌时，通过减速电机控制搅拌桨的搅拌速度为800—900转/分。

本发明的有益效果是：通过加大研磨桶内的搅拌桨，使之作用范围更大，同时使用减速电机降低搅拌桨搅拌速度避免研磨液飞溅，保持研磨液不沉淀。从而提高研磨桶搅拌效率，避免研磨液不均匀带来的机械伤不良(改造前机械伤不良率达到6.12％以上，改造后机械伤不良率达到0.11％以下)。

附图说明

图1为改造前研磨液搅拌桶示意图。

图2为改造后研磨液搅拌桶示意图。

图中：1为供液槽，2为过滤器，3为研磨捅，4为搅拌桨，5为减速电机，6为进水管路。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的说明。

现有研磨桶改造后如图2所示，搅拌桨尺寸加宽加长，使得桶周边部分的研磨液也能够搅拌到，不至于出现沉淀。使研磨桶内的研磨液整体都能得到充分的搅拌，不会在底部产生沉淀。