[发明专利]数据处理方法、数据处理装置以及存储介质

说明书

本发明提供一种数据处理方法、数据处理装置以及存储介质。数据处理方法包含获取时间序列数据的步骤、获取评估值的步骤、分类步骤及提取步骤。在获取时间序列数据的步骤中，获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据。在获取评估值的步骤中，获取多个时间序列数据各自的评估值。在分类步骤中，基于评估值，将多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个。在提取步骤中，提取与多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。

技术领域

本发明涉及一种数据处理方法、数据处理装置以及存储介质。

背景技术

已知有一种对基板进行处理的基板处理装置。典型的是，基板处理装置被较佳地用于半导体基板的处理。正研究基于从基板处理装置按照时间序列输出的数据来判定基板处理装置的异常(例如参照专利文献1)。专利文献1的半导体制造装置中，根据特定的监测对象与关联的其他监测对象的相关数据来制作二轴坐标系，基于是否包含在异常区域中来判定半导体制造装置的异常。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2006-228911号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，专利文献1的方法中，必须确定具有所期望的相关关系的两个监测对象，但实际上所述确定困难，无法容易地判定半导体制造装置的状态。

本发明是有鉴于所述问题而完成，其目的在于提供一种从在基板处理装置中生成的多个时间序列数据中容易地提取特定的时间序列数据的数据处理方法、数据处理装置以及存储介质。而且，本发明的另一目的在于提供一种能够降低从基板处理装置获得的对象时间序列数据与学习数据库中所含的时间序列数据的匹配时的运算量的数据处理方法、数据处理装置以及存储介质。

[解决问题的技术手段]

根据本发明的一方面，数据处理方法包含获取时间序列数据的步骤、获取评估值的步骤、分类步骤及提取步骤。在所述获取时间序列数据的步骤中，获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据。在所述获取评估值的步骤中，获取所述多个时间序列数据各自的评估值。在所述分类步骤中，基于所述评估值，将所述多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个。在所述提取步骤中，提取与所述多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。

一实施方式中，在所述获取评估值的步骤中，通过所述多个时间序列数据各自与基准数据的比较，来获取所述多个时间序列数据各自的评估值。

一实施方式中，在所述获取评估值的步骤中，所述时间序列数据与所述基准数据的值的差为大的情况下的所述评估值，大于所述时间序列数据与所述基准数据的值的差为小的情况下的所述评估值。

一实施方式中，所述数据处理方法还包含下述步骤：切换显示评估值图表与所述提取时间序列数据，所述评估值图表表示所述提取时间序列数据的评估值的变化。

一实施方式中，所述数据处理方法还包含下述步骤：存储所述提取时间序列数据。

一实施方式中，所述数据处理方法还包含下述步骤：对所述提取时间序列数据进行聚类处理而分类为多个群集中的任一个。

一实施方式中，所述数据处理方法还包含下述步骤：切换显示评估值图表与所述提取时间序列数据，所述评估值图表表示被分类为所述多个群集中的任一个的提取时间序列数据的评估值。

一实施方式中，所述数据处理方法还包含下述步骤：生成学习数据库，所述学习数据库是对与所述提取时间序列数据对应的群集，赋予有与所述时间序列数据对应的关于所述基板处理装置的原因对策信息。