[发明专利]数据处理方法、数据处理装置以及存储介质

权利要求书

1.一种数据处理方法，包含下述步骤：

获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据；

获取所述多个时间序列数据各自的评估值；

基于所述评估值，将所述多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个；以及

提取与所述多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。

2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其中在获取所述评估值的步骤，通过所述多个时间序列数据各自与基准数据的比较，来获取所述多个时间序列数据各自的评估值。

3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其中在获取所述评估值的步骤，所述时间序列数据与所述基准数据的值的差为大的情况下的所述评估值，大于所述时间序列数据与所述基准数据的值的差为小的情况下的所述评估值。

4.根据权利要求1或2所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

切换显示评估值图表与所述提取时间序列数据，其中所述评估值图表表示所述提取时间序列数据的评估值的变化。

5.根据权利要求1或2所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

存储所述提取时间序列数据。

6.根据权利要求1或2所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

对所述提取时间序列数据进行聚类处理而分类为多个群集中的任一个。

7.根据权利要求6所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

切换显示评估值图表与所述提取时间序列数据，其中所述评估值图表表示被分类为所述多个群集中的任一个的提取时间序列数据的评估值。

8.根据权利要求6所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

生成学习数据库，所述学习数据库是对与所述提取时间序列数据对应的群集，赋予有与所述时间序列数据对应的关于所述基板处理装置的原因对策信息。

9.一种数据处理方法，包含下述步骤：

获取通过基板处理装置中获得的多个时间序列数据；

获取所述多个时间序列数据各自的评估值；

基于所述评估值，将所述多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个；以及

对与所述多个类别中的任一个对应的对象时间序列数据和学习数据库中所含的时间序列数据进行匹配。

10.根据权利要求9所述的数据处理方法，其中在所述学习数据库中，对应于时间序列数据而存储有原因对策信息，

在所述匹配步骤，还包含下述步骤，即，在所述对象时间序列数据与所述学习数据库中所含的至少一个时间序列数据的匹配率高于阈值的情况下，读出与所述时间序列数据对应的原因对策信息。

11.根据权利要求9或10所述的数据处理方法，其中在获取所述评估值的步骤，通过所述多个时间序列数据各自与基准数据的比较，来获取所述多个时间序列数据各自的评估值。

12.根据权利要求11所述的数据处理方法，其中在获取所述评估值的步骤，所述时间序列数据与所述基准数据的值的差异为大的情况下的所述评估值，大于所述时间序列数据与所述基准数据的值的差异为小的情况下的所述评估值。

13.根据权利要求9或10所述的数据处理方法，还包含下述步骤：

存储所述对象时间序列数据。

14.一种数据处理装置，包括：

数据获取部，获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据；

评估值获取部，获取所述多个时间序列数据各自的评估值；

分类部，基于所述评估值，将所述多个时间序列数据分类为多个类别中的任一个；以及

提取部，提取与所述多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。