[发明专利]包括具有六边形轮廓的晶胞的横向半导体器件在审
| 申请号: | 202080105953.8 | 申请日: | 2020-11-11 |
| 公开(公告)号: | CN116325172A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
| 发明(设计)人: | 萨米尔·穆胡比 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 刘丽萍 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 包括 具有 六边形 轮廓 晶胞 横向 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件(100、200、300),包括:
管芯层(110),包括主表面(111);
多个第一端子(101、S),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,所述第一端子(101、S)形成具有六边形轮廓的晶胞(105)的栅格,所述晶胞跨所述管芯层(110)的所述主表面(111)并排布置;
多个第二端子(102、G),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,每个第二端子(102、G)形成布置在相应第一端子(101、S)的晶胞内的六边形轮廓,其中,所述第二端子与所述第一端子(101、S)之间存在间隙;
多个第三端子(103、D),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,每个第三端子(103、D)形成为六边形并布置在相应第二端子(102、G)的六边形轮廓内,其中,在所述第三端子(103、D)与所述第二端子(102、G)之间存在第二间隙;以及
至少两个金属化层(M1、M2),布置在所述多个第一端子(101、S)、所述多个第二端子(102、G)、以及所述多个第三端子(103、D)上,用于接收来自所述多个第一端子、所述多个第二端子、以及所述多个第三端子的电流。
2.根据权利要求1所述的半导体器件(100),
其中,第一金属化层(M1)包括彼此分隔开的第一部分(121)、第二部分(122)、以及第三部分(123),
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)覆盖每个第一端子(101、S)的至少部分,以接收来自所述多个第一端子(101、S)的电流,
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)覆盖每个第二端子(102、G)的至少部分,以接收来自所述多个第二端子(102、G)的电流,
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)覆盖每个第三端子(103、D)的至少部分,以接收来自所述多个第三端子(103、D)的电流。
3.根据权利要求2所述的半导体器件(100),
其中,在所述第一金属化层(M1)上布置第二金属化层(M2),所述第二金属化层(M2)包括彼此分隔开的第一部分(131)、第二部分(132)、以及第三部分(133),
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131),以将从所述多个第一端子(101、S)提取的电流路由到另一实体,
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132),以将从所述多个第二端子(102、G)提取的电流路由到另一实体,
其中,所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133),以将从所述多个第三端子(103、D)提取的电流路由到另一实体。
4.根据权利要求2或3所述的半导体器件(100),
其中,所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131)形成为覆盖所述多个第一端子(101、S)的六边形轮廓的部分的波浪形,
其中,所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132)形成为覆盖所述多个第二端子(102、G)的六边形轮廓的部分的波浪形,
其中,所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133)形成为覆盖所述多个第三端子(103、D)的六边形的波浪形。
5.根据权利要求4所述的半导体器件(100),
其中,在所述第一金属化层(M1)与所述第二金属化层(M2)之间布置隔离层,
其中
所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)与所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131)之间的连接,
所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)与所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132)之间的连接,以及
所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)与所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133)之间的连接
由穿过所述隔离层的通孔(106)形成。
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