[发明专利]包括具有六边形轮廓的晶胞的横向半导体器件在审

专利信息
申请号: 202080105953.8 申请日: 2020-11-11
公开(公告)号: CN116325172A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 萨米尔·穆胡比 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 刘丽萍
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 包括 具有 六边形 轮廓 晶胞 横向 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件(100、200、300),包括:

管芯层(110),包括主表面(111);

多个第一端子(101、S),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,所述第一端子(101、S)形成具有六边形轮廓的晶胞(105)的栅格,所述晶胞跨所述管芯层(110)的所述主表面(111)并排布置;

多个第二端子(102、G),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,每个第二端子(102、G)形成布置在相应第一端子(101、S)的晶胞内的六边形轮廓,其中,所述第二端子与所述第一端子(101、S)之间存在间隙;

多个第三端子(103、D),安装在所述管芯层(110)的所述主表面(111)上,其中,每个第三端子(103、D)形成为六边形并布置在相应第二端子(102、G)的六边形轮廓内,其中,在所述第三端子(103、D)与所述第二端子(102、G)之间存在第二间隙;以及

至少两个金属化层(M1、M2),布置在所述多个第一端子(101、S)、所述多个第二端子(102、G)、以及所述多个第三端子(103、D)上,用于接收来自所述多个第一端子、所述多个第二端子、以及所述多个第三端子的电流。

2.根据权利要求1所述的半导体器件(100),

其中,第一金属化层(M1)包括彼此分隔开的第一部分(121)、第二部分(122)、以及第三部分(123),

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)覆盖每个第一端子(101、S)的至少部分,以接收来自所述多个第一端子(101、S)的电流,

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)覆盖每个第二端子(102、G)的至少部分,以接收来自所述多个第二端子(102、G)的电流,

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)覆盖每个第三端子(103、D)的至少部分,以接收来自所述多个第三端子(103、D)的电流。

3.根据权利要求2所述的半导体器件(100),

其中,在所述第一金属化层(M1)上布置第二金属化层(M2),所述第二金属化层(M2)包括彼此分隔开的第一部分(131)、第二部分(132)、以及第三部分(133),

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131),以将从所述多个第一端子(101、S)提取的电流路由到另一实体,

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132),以将从所述多个第二端子(102、G)提取的电流路由到另一实体,

其中,所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)连接到所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133),以将从所述多个第三端子(103、D)提取的电流路由到另一实体。

4.根据权利要求2或3所述的半导体器件(100),

其中,所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131)形成为覆盖所述多个第一端子(101、S)的六边形轮廓的部分的波浪形,

其中,所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132)形成为覆盖所述多个第二端子(102、G)的六边形轮廓的部分的波浪形,

其中,所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133)形成为覆盖所述多个第三端子(103、D)的六边形的波浪形。

5.根据权利要求4所述的半导体器件(100),

其中,在所述第一金属化层(M1)与所述第二金属化层(M2)之间布置隔离层,

其中

所述第一金属化层(M1)的所述第一部分(121)与所述第二金属化层(M2)的所述第一部分(131)之间的连接,

所述第一金属化层(M1)的所述第二部分(122)与所述第二金属化层(M2)的所述第二部分(132)之间的连接,以及

所述第一金属化层(M1)的所述第三部分(123)与所述第二金属化层(M2)的所述第三部分(133)之间的连接

由穿过所述隔离层的通孔(106)形成。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司,未经华为技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202080105953.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top