[发明专利]液剂涂布装置在审

专利信息
申请号: 202080101276.2 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN115803121A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 成见健太;伊奈弘昭;皆川正太郎 申请(专利权)人: 株式会社富士
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C5/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 杨青;安翔
地址: 日本爱知*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 液剂 装置
【权利要求书】:

1.一种液剂涂布装置,具备:

涂布嘴,相对于基板能够上下移动并且能够在水平面方向上相对移动;

涂布阀,切换进行液剂向所述涂布嘴的供给的第一状态和停止液剂向所述涂布嘴的供给的第二状态;及

控制装置,控制为所述涂布嘴从所述基板的上方向所述基板的预定位置下降,并且控制为在预定的供给开始定时将所述涂布阀切换为所述第一状态之后等待经过预定时间而将所述涂布阀切换为所述第二状态,并控制为在所述涂布嘴的前端到达下降端且将所述涂布阀切换为所述第二状态的定时以后所述涂布嘴上升,

所述供给开始定时由操作人员和/或所述控制装置任意地设定。

2.根据权利要求1所述的液剂涂布装置,其中,

所述供给开始定时以所述涂布嘴的前端到达下降端之后至开始所述涂布阀的上升为止的时间为零或者接近零的方式设定。

3.根据权利要求1所述的液剂涂布装置,其中,

所述供给开始定时以所述涂布嘴的前端到达下降端之前经过所述预定时间的方式设定。

4.根据权利要求1所述的液剂涂布装置,其中,

所述供给开始定时由所述控制装置设定,

所述控制装置将液剂的种类与供给开始定时建立了对应的对应关系预先存储于存储部,并基于使用的液剂的种类,根据所述对应关系来设定所述供给开始定时。

5.根据权利要求1所述的液剂涂布装置,其中,

所述供给开始定时由所述控制装置设定,

所述控制装置在设定所述供给开始定时时,依次采用预先决定的多个暂定供给开始定时来判定所述涂布嘴对所述液剂的涂布情况,将所述液剂的涂布情况适当的所述暂定供给开始定时设定为所述供给开始定时。

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