[发明专利]放射线检测器及放射线检测器的制造方法

说明书

本发明的放射线检测器(1)具备：光电转换元件阵列(7)；将放射线转换成光的闪烁器层(8)；形成于光电转换元件阵列(7)上的树脂框(9)；及覆盖闪烁器层(8)的保护膜(13)。在树脂框(9)，形成有与保护膜(13)的外缘(13a)连续的槽(30)。槽(30)具有重复区域(31)，其包含在相对于槽(30)的延伸方向交叉的方向上部分地重复的第1槽端部(32)及第2槽端部(33)。

技术领域

本发明涉及放射线检测器及放射线检测器的制造方法。

背景技术

专利文献1、2及3公开有放射线检测器。专利文献1、2及3所公开的放射线检测器具有：将放射线转换成光的闪烁器层；及用来检测光的光检测面板。光检测面板具有：受光部，其配置有多个受光元件；及设置在受光部的周围，相对于受光部电连接的多个焊盘(bonding pad)。在受光部与焊盘之间，形成有包围受光部的树脂框。闪烁器层被具有耐湿性的保护膜覆盖。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-96823号公报

专利文献2：日本特开2016-205916号公报

专利文献3：美国专利公报第2012/0288688号

发明内容

发明所要解决的问题

在制造专利文献1、2所公开的放射线检测器的方法中，首先在光检测面板上，形成闪烁器层。然后，形成树脂框。其次，形成保护膜。保护膜形成于闪烁器层上，并且也形成于焊盘上。保护膜覆盖闪烁器层即可。因此，将覆盖焊盘的保护膜的一部分去除。具体而言，为了切断保护膜，通过照射激光，切断形成于树脂框上的保护膜。

当朝保护膜照射激光时，为了可靠地切断保护膜，激光需要具有阈值以上的能量。另外，若激光的能量过强的话，则可能会有激光将保护膜及树脂框切断的情况。其结果，可能会有对光检测面板造成损伤的情况。成为，即使在激光未到达光检测面板的情况下，在形成于树脂框的槽很深的情况下，也有可能成为意料不到的故障原因。所以，保护膜及树脂框的高度并非一定。因此，即使将激光的能量保持成一定，也有可能产生所述故障。

也就是即使在将激光的照射条件保持一定的情况下，也有可能制造出无法符合规定的性能的放射线检测器。因此，在放射线检测器的技术领域，期望通过在放射线检测器的制造上使不良品的产生降低，能提升生产性的技术。

因此，本发明的目的在于提供能够使生产性提升的放射线检测器及放射线检测器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一个方式的放射线检测器，具备：光检测面板，其具有包含一维或二维排列的多个光电转换元件的受光部、及与光电转换元件电连接且配置于受光部的外侧的多个焊盘；以覆盖受光部的方式层叠于光检测面板上，用来将放射线转换成光的闪烁器层；以在从闪烁器层的层叠方向观察的情况下，与闪烁器层及焊盘分离并通过闪烁器层与焊盘之间、且包围闪烁器层的方式，形成于光检测面板上的树脂框；及覆盖闪烁器层，且具有位于树脂框上的外缘的闪烁器保护膜。在树脂框，形成有与闪烁器保护膜的外缘连续的槽。槽具有重复区域，其包含在相对于槽的延伸方向交叉的方向上部分地重复的第1槽端部及第2槽端部。

放射线检测器所具备的树脂框的槽，与闪烁器保护膜的外缘连续。另外，通过激光的照射，形成闪烁器保护膜的外缘。树脂框的槽是伴随此外缘的形成而形成。另外，在树脂框形成有槽的情况下，形成于树脂框上的闪烁器保护膜被可靠地切断。另外，槽具有包含第1槽端部及第2槽端部的重复区域。根据第1槽端部与第2槽端部的部分的重复，使得在重复区域，槽的深度不会变得过深。其结果，不仅闪烁器保护膜，也可可靠防止激光到达树脂框。即，可可靠地切断闪烁器保护膜。并且，对设有树脂框的光检测面板的表面，不会造成因激光的照射所引起的损伤。因此，可抑制不良品的产生。其结果，可使生产性提升。

在一个方式的放射线检测器，也可还具备覆盖闪烁器保护膜的外缘的包覆树脂。根据此结构，可抑制闪烁器保护膜的剥离产生。