[发明专利]放射线检测器及放射线检测器的制造方法

权利要求书

1.一种放射线检测器，其中，

具备：

光检测面板，其具有受光部及多个焊盘，所述受光部包含一维或二维排列的多个光电转换元件，所述焊盘与所述光电转换元件电连接且配置于所述受光部的外侧；

闪烁器层，其以覆盖所述受光部的方式层叠于所述光检测面板上，将放射线转换成光；

树脂框，其以在从所述闪烁器层的层叠方向观察的情况下，与所述闪烁器层及所述焊盘分离并通过所述闪烁器层与所述焊盘之间，且包围所述闪烁器层的方式，形成于所述光检测面板上；及

闪烁器保护膜，其覆盖所述闪烁器层，且具有位于所述树脂框上的外缘，

在所述树脂框，形成有与所述闪烁器保护膜的外缘连续的槽，

所述槽具有：重复区域，其包含在相对于所述槽的延伸方向交叉的方向上部分地重复的第1槽端部及第2槽端部。

2.如权利要求1所述的放射线检测器，其中，

还具备：包覆树脂，其覆盖所述闪烁器保护膜的所述外缘。

3.如权利要求2所述的放射线检测器，其中，

所述包覆树脂进一步覆盖所述树脂框，

所述包覆树脂，具有以所述包覆树脂与所述树脂框的接触面的缘部形成于所述树脂框上的方式，能够留于所述树脂框的材料特性。

4.如权利要求2或3所述的放射线检测器，其中，

所述树脂框的中央部较所述树脂框的两缘部高，

所述槽的位置在所述树脂框上偏向所述焊盘侧。

5.如权利要求1至4中任一项所述的放射线检测器，其中，

所述树脂框的宽度是700微米以上且1000微米以下。

6.如权利要求1至5中任一项所述的放射线检测器，其中，

所述树脂框的高度是100微米以上且300微米以下。

7.如权利要求1至6中任一项所述的放射线检测器，其中，

所述光检测面板的形状为矩形，

所述树脂框具有包围所述闪烁器层的4个边部，

所述重复区域设置在4个所述边部中的任一个。

8.一种放射线检测器的制造方法，其中，

具有：

准备光检测面板，并将闪烁器层以覆盖受光部的方式层叠于所述光检测面板上的工序，其中，所述光检测面板具有受光部及多个焊盘，所述受光部包含一维或二维排列的多个光电转换元件，所述焊盘与所述光电转换元件电连接且配置于所述受光部的外侧，所述闪烁器层将放射线转换成光；

以从所述闪烁器层的层叠方向观察的情况下，包围所述闪烁器层的方式，在所述光检测面板上配置面板保护部的工序；

以覆盖所述光检测面板的层叠有所述闪烁器层的一侧的表面整体及所述面板保护部的表面的方式，形成闪烁器保护膜的工序；

通过沿着所述面板保护部照射激光，而将所述闪烁器保护膜切断的工序；及

去除所述闪烁器保护膜的外侧的部分的工序，

在切断所述闪烁器保护膜的工序中，以因所述闪烁器保护膜的切断而形成有所述闪烁器保护膜的外缘，在所述面板保护部形成有与所述闪烁器保护膜的外缘连续的槽，并且所述槽具有包含在相对于所述槽的延伸方向交叉的方向上部分地重复的第1槽端部及第2槽端部的重复区域的方式，照射所述激光。

9.如权利要求8所述的放射线检测器的制造方法，其中，

所述光检测面板的形状为矩形，

所述面板保护部具有包围所述闪烁器层的4个边部，

在切断所述闪烁器保护膜的工序中，在4个所述边部中的任一个设置所述重复区域。

10.如权利要求9所述的放射线检测器的制造方法，其中，

切断所述闪烁器保护膜的工序包含：

将4个所述边部所构成的4个角部的位置中的至少1个设定为基准位置的工序；及

基于所述基准位置，对4个所述边部的各个照射所述激光的工序。