[发明专利]激光加工用光源及激光加工装置

说明书

激光加工用光源具备：激光振荡部，其出射第1脉冲光列；第1光产生部，其通过对第1脉冲光列实施分波、多个光路上的传播及合波，而产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列；第2光产生部，其在第3脉冲光列中，自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，而产生包含至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列；及控制部，其控制第2光产生部；控制部将用于在第3脉冲光列中自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列的控制信号发送至第2光产生部。

技术领域

本发明涉及一种激光加工用光源及激光加工装置。

背景技术

作为将由多个双脉冲光构成的双脉冲光列照射至被加工物的激光加工装置，已知有将由多个单脉冲光构成的1个脉冲光列分波为2个脉冲光列，且使分波的2个脉冲光列的各个以光路长彼此不同的光路传播，并将该2个脉冲光列合波，由此产生双脉冲光列(例如，参照专利文献1)。另外，单脉冲光是指由1个脉冲构成的1脉冲的光，双脉冲光是指由例如直至数ps～20ns为止在时间上接近的2个脉冲构成的1脉冲的光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-221684号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述的激光加工装置中，有照射至被加工物的脉冲光列被限制为1种脉冲光列(例如，双脉冲光列)的情况。为了根据各种用途加工被加工物，若可对被加工物选择性地照射多种脉冲光列，则是便利的。

因此，本发明的目的在于提供一种可选择性地出射多种脉冲光列的激光加工用光源及激光加工装置。

解决问题的技术手段

本发明的激光加工用光源，具备：激光振荡部，其出射第1脉冲光列；第1光产生部，其通过对第1脉冲光列实施分波、多个光路上的传播及合波，而产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列；第2光产生部，其在第3脉冲光列中，自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，而产生包含至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列；及控制部，其控制第2光产生部，控制部将用于在第3脉冲光列中自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列的控制信号发送至第2光产生部。

在该激光加工用光源中，产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列，且在第3脉冲光列中，自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，由此产生包含至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列。因此，根据该激光加工用光源，可选择性地出射多种脉冲光列。

在本发明的激光加工用光源中，也可为激光振荡部将具有与第1脉冲光列对应的频率的电信号发送至控制部，且控制部基于电信号而产生控制信号。根据该结构，可正确且容易地进行在第3脉冲光列中自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列的第2光产生部的控制。

在本发明的激光加工用光源中，也可为第2光产生部为再生放大器，其具有：光切出部，其产生第4脉冲光列；增益介质，其相对于第4脉冲光列，与光切出部一同构成光共振器；及激发光源，其对增益介质照射激发光。根据该结构，可有效地进行第4脉冲光列的产生及放大。

在本发明的激光加工用光源中，也可为多个第2脉冲光列分别为单脉冲光列及双脉冲光列。根据该结构，在第3脉冲光列中，例如通过自多个第2脉冲光列选择单脉冲光列或双脉冲光列，而可产生包含单脉冲光列或双脉冲光列的第4脉冲光列。