[发明专利]激光加工用光源及激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工用光源，其中，

具备：

激光振荡部，其出射第1脉冲光列；

第1光产生部，其通过对所述第1脉冲光列实施分波、多个光路上的传播及合波，而产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列；

第2光产生部，其在所述第3脉冲光列中，自所述多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，而产生包含所述至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列；及

控制部，其控制所述第2光产生部，

所述控制部将用于在所述第3脉冲光列中自所述多个第2脉冲光列选择所述至少1个第2脉冲光列的控制信号发送至所述第2光产生部。

2.如权利要求1所述的激光加工用光源，其中，

所述激光振荡部将具有与所述第1脉冲光列对应的频率的电信号发送至所述控制部，

所述控制部基于所述电信号而产生所述控制信号。

3.如权利要求1或2所述的激光加工用光源，其中，

所述第2光产生部为具有光切出部、增益介质及激发光源的再生放大器，

所述光切出部产生所述第4脉冲光列，

所述增益介质相对于所述第4脉冲光列，与所述光切出部一同构成光共振器，

所述激发光源对所述增益介质照射激发光。

4.如权利要求1～3中任一项所述的激光加工用光源，其中，

所述多个第2脉冲光列分别为单脉冲光列及双脉冲光列。

5.如权利要求1～4中任一项所述的激光加工用光源，其中，

所述第1光产生部具有：

第1分波部，其将所述第1脉冲光列分波为2个脉冲光列；

第1光路及第2光路，其光路长彼此不同，且使所述2个脉冲光列的各个传播；及

第1合波部，其通过将所述2个脉冲光列合波而产生所述第3脉冲光列，

所述第1光路具有：

第2分波部，其将由所述第1分波部分波的所述2个脉冲光列的一方分波为2个子脉冲光列；

第3光路及第4光路，其光路长彼此不同，且使所述2个子脉冲光列的各个传播；及

第2合波部，其将所述2个子脉冲光列合波，

所述第1合波部通过将由所述第1分波部分波的所述2个脉冲光列的另一方、及由所述第2合波部合波的脉冲光列合波，而产生所述第3脉冲光列。

6.如权利要求5所述的激光加工用光源，其中，

所述第1分波部、所述第1合波部、所述第2分波部及所述第2合波部分别为耦合器，

所述第1光产生部还具有将在光路上彼此相邻的所述耦合器连接的光纤。

7.如权利要求1～6中任一项所述的激光加工用光源，其中，

所述第1光产生部及所述第2光产生部经由所述第3脉冲光列传播的空间而配置。

8.一种激光加工装置，其中，

具备：

权利要求1～7中任一项所述的激光加工用光源；

支撑部，其支撑被加工物；及

照射部，其对所述被加工物照射自所述激光加工用光源出射的脉冲光列。